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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种扫描电镜真空系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033049B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510177511.9，技术领域涉及：H01J37/18；该发明授权一种扫描电镜真空系统是由杨聚星设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扫描电镜真空系统在说明书摘要公布了：本发明涉及显微镜技术领域，公开了一种扫描电镜真空系统，包括：电子枪；镜筒通过第一阀门与电子枪连接；样品室与镜筒通过第六阀门连接；分子泵第一进气口与电子枪连接，第二进气口通过第五阀门与镜筒连接；分子泵通过第四阀门与样品室连接；机械泵通过第三阀门与样品室连接；扫描电镜真空系统具有关闭第四阀门和第六阀门，打开第一阀门、第三阀门和第五阀门的低真空模式；及具有关闭第三阀门和第五阀门，打开第一阀门、第四阀门和第六阀门的高真空模式。本申请的扫描电镜真空系统可以在低真空模式和高真空模式下自由切换；并且，本申请的扫描电镜真空系统使用尽可能少的器件，成本较低，减小体积，节省空间。

本发明授权一种扫描电镜真空系统在权利要求书中公布了：1.一种扫描电镜真空系统，其特征在于，包括： 电子枪1； 镜筒2，通过第一阀门3与所述电子枪1连接； 样品室4，与所述镜筒2之间设有第一压差光阑5；所述样品室4与镜筒2通过第六阀门10连接； 分子泵13，第一进气口与所述电子枪1连接，所述分子泵13的第二进气口通过第五阀门9与所述镜筒2连接；所述分子泵13通过第四阀门8与所述样品室4的底部连接； 机械泵18，通过第三阀门7与所述样品室4连接； 所述扫描电镜真空系统具有关闭第四阀门8和第六阀门10，打开第一阀门3、第三阀门7和第五阀门9的低真空模式；以及具有关闭第三阀门7和第五阀门9，打开第一阀门3、第四阀门8和第六阀门10的高真空模式；在低真空模式下，所述电子枪1内的真空度小于5×e－3Pa，所述镜筒2内的真空度大于1×e－2Pa，且所述镜筒2内的真空度小于1Pa，所述样品室4内的真空度大于1Pa，且所述样品室4内的真空度小于1000Pa；在高真空模式下，所述电子枪1内的真空度、镜筒2内的真空度和样品室4内的真空度均小于5×e－3Pa； 还包括： 第七阀门11，与所述样品室4连接，经所述第七阀门11向所述样品室4内输入气体； 第二真空计15，与所述样品室4连接，所述第二真空计15适于实时获取样品室4内的真空度； 控制器，与所述第七阀门11、第二真空计15均信号连接；在低真空模式下，所述控制器适于将真空度设定值与第二真空计15获取的样品室4内的实际真空度做比较，获得误差信号，再将误差信号经PID环节16处理后，获得控制信号，并通过控制信号实时控制第七阀门11的开度，以控制输入样品室4内的气体流量，使得样品室4内的实际真空度与所述真空度设定值相等。

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