吉林大学王希斌获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种多端口输入、多端口输出的基于MMI结构的聚合物波导光功率分配器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119596457B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510043797.1,技术领域涉及:G02B6/125;该发明授权一种多端口输入、多端口输出的基于MMI结构的聚合物波导光功率分配器及其制备方法是由王希斌;宁夏;柴榕杉;付雨舒;李尚融;孙士杰;张大明设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多端口输入、多端口输出的基于MMI结构的聚合物波导光功率分配器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种多端口输入、多端口输出的基于MMI结构的聚合物波导光功率分配器及其制备方法,属于平面光波导器件及其制备技术领域。从下至上由硅片衬底、聚合物下包层、聚合物光波导芯层和聚合物上包层组成,聚合物光波导芯层和聚合物上包层共同位于聚合物下包层之上,聚合物光波导芯层被完全包覆在聚合物上包层之中,聚合物光波导芯层材料的折射率高于聚合物上、下包层的折射率;整个聚合物光波导芯层基于MMI光波导结构。本发明的波导型功率分配器结合了MMI光波导结构工艺容差大、尺寸小的特点,利用有机聚合物材料种类繁多的优势,实现了多个不同端口输入进行相同功率分配的目的,能够大规模批量生产,是能够应用到实际当中的功率分配器。
本发明授权一种多端口输入、多端口输出的基于MMI结构的聚合物波导光功率分配器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种多端口输入、多端口输出的基于MMI结构的聚合物波导光功率分配器,其特征在于:从下至上由硅片衬底20、聚合物下包层21、聚合物光波导芯层22’和聚合物上包层23组成,聚合物光波导芯层22’和聚合物上包层23共同位于聚合物下包层21之上,聚合物光波导芯层22’被完全包覆在聚合物上包层23之中,聚合物光波导芯层22’材料的折射率高于聚合物下包层21和聚合物上包层23材料的折射率;整个聚合物光波导芯层22’基于MMI光波导结构,从左至右沿光的传播方向依次由结构和尺寸相同且相互平行的第一输入直波导1、第二输入直波导2和第三输入直波导3,结构和尺寸相同的第一S弯曲波导4和第二S弯曲波导6,第一平行直波导5,结构和尺寸相同的第一输入锥形波导7、第二输入锥形波导8和第三输入锥形波导9,多模干涉波导10,结构和尺寸相同的第一输出锥形波导11、第二输出锥形波导12和第三输出锥形波导13,结构和尺寸相同的第三S弯曲波导14和第四S弯曲波导16,第二平行直波导15,结构和尺寸相同且相互平行的第一输出直波导17、第二输出直波导18和第三输出直波导19构成;第一输入锥形波导7、第二输入锥形波导8和第三输入锥形波导9分别作为多模干涉波导10的三个输入端,第一输出直波导17、第二输出直波导18和第三输出直波导19分别作为多模干涉波导10的三个输出端;第一输入直波导1、第一S弯曲波导4和第一输入锥形波导7顺次连接,第二输入直波导2、第一平行直波导5和第二输入锥形波导8顺次连接,第三输入直波导3、第二S弯曲波导6和第三输入锥形波导9顺次连接;第一输出锥形波导11、第三S弯曲波导14和第一输出直波导17顺次连接,第二输出锥形波导12、第二平行直波导15和第二输出直波导18顺次连接,第三输出锥形波导13、第四S弯曲波导16和第三输出直波导19顺次连接。
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