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华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)龙瀚凌获国家专利权

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龙图腾网获悉华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)申请的专利一种平面光波导器件的异质混合集成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119596451B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411970826.0,技术领域涉及:G02B6/12;该发明授权一种平面光波导器件的异质混合集成方法是由龙瀚凌;吴文昊;齐志强;郑畅;李荆晖设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种平面光波导器件的异质混合集成方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种平面光波导器件的异质混合集成方法,涉及集成硅光子学技术领域,该方法用于对不同材料体系波导特征尺寸相差较大的PLC芯片进行异质混合集成,其先对前端芯片的出光端进行大角度研磨,令波导形成反射角,再将其器件面与后端芯片器件面相对设置,使前端芯片出射光能够反射至后端芯片器件面,并与后端芯片器件面的光栅耦合器对准,最后将对准后的两芯片封装,实现两芯片的光互连;本申请技术方案进行异质集成时能够直接将前端芯片的出光对准到后端芯片的光栅耦合器上,无需考虑两芯片高度差问题,解决了现有端面耦合技术中对芯片高度差较为敏感、耦合模式匹配困难的问题,有效提升了分立器件光网络系统的集成度。

本发明授权一种平面光波导器件的异质混合集成方法在权利要求书中公布了:1.一种平面光波导器件的异质混合集成方法,其特征在于,所述平面光波导器件的异质混合集成方法包括: 步骤1,准备不同材料体系的第一PLC芯片和第二PLC芯片,其中,第一PLC芯片上包括第一波导结构21,第二PLC芯片上包括光栅耦合器51和第二波导结构52; 步骤2,将第一PLC芯片输出光信号的一端作为研磨端,根据两PLC芯片波导材料的折射率以及光栅耦合器51所需的光信号输入角度,确定研磨角度,使得第一PLC芯片的输出光能够在研磨端面的反射作用下,从第一PLC芯片器件面出射; 步骤3,按照研磨角度对第一PLC芯片的端面进行研磨,形成光滑的反射波导端面3,其中,第一PLC芯片的器件面与反射波导端面3的夹角等于研磨角度; 步骤4,将第一PLC芯片和第二PLC芯片按照器件面相对的方式固定,使第一PLC芯片的出光对准到第二PLC芯片的光栅耦合器51上,实时测量第二PLC芯片的输出光功率,调节第一PLC芯片的位置,使第二PLC芯片的输出光功率达到最大值,确定两PLC芯片最佳耦合的相对位置; 步骤5,按照最佳耦合的相对位置对两PLC芯片进行封装固定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所),其通讯地址为:430223 湖北省武汉市江夏区阳光大道717号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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