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龙图腾网获悉宁波伯锐锶电子束科技有限公司申请的专利电子束图像角度校正方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119901766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411955728.X，技术领域涉及：G01N23/20；该发明授权电子束图像角度校正方法、装置、电子设备及存储介质是由陆晨豪;沈思聪;普晨旭设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子束图像角度校正方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本公开提供了一种电子束图像角度校正方法、装置、电子设备及存储介质，其中，所述方法包括：将待测样品放置于运动平台上；获取所述待测样品在当前位置的第一电子束图像；确定运动坐标系，所述运动坐标系的X轴和Y轴分别与电子束图像的相邻两条矩形边平行，原点与电子束图像的中心重合；将所述待测样品沿所述运动坐标系的X轴方向移动预设距离，以获取所述待测样品的第二电子束图像；将所述第一电子束图像和所述第二电子束图像进行傅里叶变换，以确定所述第一电子束图像和所述第二电子束图像之间的偏移量；根据所述偏移量，确定所述第一电子束图像和所述第二电子束图像之间的角度偏差值；根据所述角度偏差值，对所述电子束图像进行角度校正。

本发明授权电子束图像角度校正方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种电子束图像角度校正方法，其特征在于，所述方法包括： 将待测样品放置于运动平台上； 获取所述待测样品在当前位置的第一电子束图像； 确定运动坐标系，所述运动坐标系的X轴和Y轴分别与电子束图像的相邻两条矩形边平行，原点与电子束图像的中心重合； 将所述待测样品沿所述运动坐标系的X轴方向移动预设距离，以获取所述待测样品的第二电子束图像； 将所述第一电子束图像和所述第二电子束图像进行傅里叶变换，以确定所述第一电子束图像和所述第二电子束图像之间的偏移量； 根据所述偏移量，确定所述第一电子束图像和所述第二电子束图像之间的角度偏差值； 根据所述角度偏差值，对所述电子束图像进行角度校正； 所述将所述第一电子束图像和所述第二电子束图像进行傅里叶变换，以确定所述第一电子束图像和所述第二电子束图像之间的偏移量，包括： 将所述第一电子束图像和所述第二电子束图像通过下列公式（1）进行傅里叶变换，得到所述第一电子束图像和所述第二电子束图像的频域图， （1） 其中，表示第一电子束图像的频域图，表示第二电子束图像的频域图，和为频域图中的变量，表示第一电子束图像与第二电子束图像之间的偏移量； 根据所述第一电子束图像和所述第二电子束图像的频域图，通过下列公式（2）得到所述偏移量的脉冲函数， （2） 其中，表示互功率谱，A1和A2分别代表F1和F2的幅值，表示冲激函数，表示偏移量的脉冲函数； 当所述脉冲函数的数值最大时，确定所述偏移量； 所述根据所述偏移量，确定所述第一电子束图像和所述第二电子束图像之间的角度偏差值，包括： 通过反正切函数将所述偏移量转换为所述角度偏差值，其中，所述反正切函数如下列公式（3）所示： （3） 其中，为角度偏差值。

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