电子科技大学赵怿哲获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119739009B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411935554.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源是由赵怿哲;袁野;郭成;赵青;甘旭鹏设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源，包括微波及出光共形系统、微波馈入系统、工质供给系统和腔体冷却系统，其中微波及出光共形系统采用球形谐振腔作为微波能量耦合和等离子体产生的核心结构，并通过在谐振腔内表面引入微波亚波长尺寸的镂空网格共形结构，能够在不影响腔体内部微波场分布的情况下，使EUV光顺利透过腔体表面，并引导至腔外，从而解决了传统谐振腔中微波场封闭和EUV光引出之间的矛盾问题。此外本发明既能够保证腔体内微波能量的高效耦合，又能够通过合理设计网格的尺寸和形状，实现EUV光束的高效引出，同时避免了传统设计中常见的微波泄露和能量损失，从而提升了整体光源的能量转换效率。
本发明授权一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源在权利要求书中公布了：1.一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源，其特征在于，包括微波及出光共形系统、微波馈入系统、工质供给系统和腔体冷却系统，所述微波及出光共形系统包括球形谐振腔和反射镜，所述球形谐振腔设置于反射镜凹面内焦点处，所述微波馈入系统包括微波源和波导，所述微波源与电源电连接，用于产生微波能量，并通过波导将微波能量耦合到球形谐振腔腔体内部，所述工质供给系统和腔体冷却系统均设置于球形谐振腔的内壁； 所述球形谐振腔表面为微波亚波长尺寸的镂空网格共形结构，所述镂空网格共形结构包括金属壁面以及间隔排布设置于金属壁面上的真空镂空。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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