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龙图腾网获悉昆山大川塑胶工业有限公司申请的专利一种晶圆载具的夹持调整装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812092B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411909087.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆载具的夹持调整装置及方法是由张伟;吕秀贞;屈保楠设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆载具的夹持调整装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆载具夹持技术领域，且公开了一种晶圆载具的夹持调整装置及方法，包括晶圆载具架，晶圆载具架的内侧固定连接有卡接架；通过分别调节晶圆载具架两侧的螺纹柱，可以调节晶圆载具架的位置与角度，将晶圆载具架保持在水平位置放置，提高了卡接架内的晶圆体的稳定性，提高了晶圆载具架使用时的稳定性；通过两个顶防护架沿着晶圆载具架的顶部水平移动，提高晶圆载具架内晶圆体的防护性，减少外力碰撞对晶圆载具架内的晶圆体造成的碰撞影响；且利用内过滤网可以将气体内含有的微尘颗粒物进行捕捉过滤，减少气体中附带的微尘颗粒物，将洁净的气体送入晶圆载具架内，减少微尘颗粒物对晶圆载具架内晶圆体表面造成的影响。

本发明授权一种晶圆载具的夹持调整装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具的夹持调整装置，包括晶圆载具架（1），其特征在于：所述晶圆载具架（1）的内侧固定连接有卡接架（2），所述晶圆载具架（1）的两侧设置有调节机构（3），所述调节机构（3）包括侧斜板（301）、底轴承盘（302）和螺纹套筒（303），所述螺纹套筒（303）的内侧螺纹连接有螺纹柱（304），所述螺纹柱（304）的一端固定连接有底支撑台（305）； 所述晶圆载具架（1）的一侧设置有防护机构（4），所述防护机构（4）用于对晶圆载具架（1）的顶部进行防护； 所述晶圆载具架（1）的另一侧设置有通风机构（5），所述通风机构（5）用于对晶圆载具架（1）的内侧进行通风换气； 所述防护机构（4）包括侧支护架（401）、底连接箱（402）和顶滑动轨（403），所述晶圆载具架（1）的两侧固定连接有侧支护架（401），所述侧支护架（401）的顶部固定连接在底连接箱（402）的底部，所述底连接箱（402）的一侧固定连接有侧固定架（4010），所述侧固定架（4010）的一侧活动连接有顶轴承盘（409），所述顶轴承盘（409）的一侧活动连接有顶螺纹杆（408），所述顶螺纹杆（408）的一端固定连接有侧握杆（4011），所述顶螺纹杆（408）的表面螺纹连接有侧螺纹孔（4012），所述底连接箱（402）的顶部设置有连接架（404），所述连接架（404）的一侧固定连接有顶防护架（4013），所述通风机构（5）包括连接外板（501）、连接筒（502）和顶固定架（503），所述晶圆载具架（1）的一侧固定连接有连接外板（501），所述连接外板（501）的一侧固定连接有连接筒（502），所述晶圆载具架（1）的外侧设置有电机体（504），所述电机体（504）的输出轴固定连接有侧连接杆（505），所述侧连接杆（505）的一端固定连接有侧传动杆（506），所述侧传动杆（506）的一端固定连接有传动扇（507），所述晶圆载具架（1）的一侧设置有过滤机构（6），所述过滤机构（6）包括连通环（601）、内过滤网（602）和连接盘（603），所述连接筒（502）的一侧固定连接有连通环（601），所述连通环（601）的内侧固定连接有内过滤网（602）。

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