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龙图腾网获悉北京东能良晶科技有限公司申请的专利一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119710628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411903052.X，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统及其方法是由万关良;张麒设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统及其方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统，属于常压化学沉积技术领域，包括调控喷气头，所述调控喷气头的内部通过轴承安装有多个转轴，且转轴的一端延伸至调控喷气头的外侧，每个所述转轴位于调控喷气头外侧的一端均固定连接有传动齿轮，所述转轴的轴体中段固定固定连接有导风板，所述调控喷气头的顶部固定安装有电动机一，所述电动机一的输出轴末端固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮和传动齿轮的外侧共同啮合传动连接有传动齿条。本发明可以对导风板进行清洁，同时可以对用于导风板调节的传动链条进行自动润滑。

本发明授权一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统及其方法在权利要求书中公布了：1.一种APCVD沉积过程颗粒物控制系统，包括调控喷气头（1），其特征在于：所述调控喷气头（1）的内部通过轴承安装有多个转轴（2），且转轴（2）的一端延伸至调控喷气头（1）的外侧，每个所述转轴（2）位于调控喷气头（1）外侧的一端均固定连接有传动齿轮（3），所述转轴（2）的轴体中段固定连接有导风板（4），所述调控喷气头（1）的顶部固定安装有电动机一（6），所述电动机一（6）的输出轴末端固定连接有驱动齿轮（7），所述驱动齿轮（7）和传动齿轮（3）的外侧共同啮合传动连接有传动链条（5），所述调控喷气头（1）的内侧且位于导风板（4）的前方设置有清洁组件（8），所述调控喷气头（1）的外侧且位于传动链条（5）的侧边固定连接有空心壳（9），所述空心壳（9）的内侧上部设置有添油机构（13），所述空心壳（9）的内侧下部设置有自动润滑机构（14）； 所述清洁组件（8）包括滑动连接于调控喷气头（1）内侧的滑条（81），所述滑条（81）的内部贯穿滑动连接有滑杆（83），所述滑杆（83）的一端固定连接有限位球（84），所述滑杆（83）的另一端固定连接有清洁套（82），所述清洁套（82）滑动套接于导风板（4）的外侧，所述滑条（81）远离导风板（4）的一侧上部固定连接有移动块（85），所述调控喷气头（1）的内壁固定安装有电动机二（86），所述电动机二（86）的输出轴末端固定连接有螺纹轴（87），且螺纹轴（87）的另一端通过轴承安装于调控喷气头（1）的内壁，所述螺纹轴（87）贯穿移动块（85）且与移动块（85）通过螺纹连接，所述滑条（81）远离导风板（4）的一侧下部固定连接有连接架（88），所述连接架（88）的末端固定连接有导向座（89），所述调控喷气头（1）的内侧下部固定连接有导向杆（810），所述导向杆（810）贯穿导向座（89）且与导向座（89）滑动连接； 所述自动润滑机构（14）包括固定连接于空心壳（9）内侧底部的镂空竖板（141），所述镂空竖板（141）的右侧固定连接有空心块（142），所述空心块（142）的内部滑动连接有滑块（143），所述滑块（143）远离镂空竖板（141）的一端固定连接有封油嘴（144）和滑销（145），所述封油嘴（144）和滑销（145）均与空心壳（9）滑动连接，所述滑销（145）与传动链条（5）接触，所述传动链条（5）的表面固定连接有凸块（51）； 所述空心块（142）的内侧设置有弹簧（146），所述弹簧（146）的一端与滑块（143）固定连接，所述弹簧（146）的另一端固定连接于空心块（142）的内表面； 所述滑块（143）的侧边固定连接有导向块（147），所述导向块（147）与空心块（142）滑动连接； 所述空心壳（9）的内部开设有出油孔（148），所述出油孔（148）的位置与封油嘴（144）对应。

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