沈阳芯源微电子设备股份有限公司张建获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利片盒模块和涂胶显影装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296281U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422877056.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型片盒模块和涂胶显影装置是由张建;陈兴隆;王超群;陈艳双;姜天明设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本片盒模块和涂胶显影装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造中的涂胶显影领域，提供一种片盒模块，应用于涂胶显影装置，包括：第一装载工位，用于装载待处理的晶圆；第二装载工位，用于装载已处理的晶圆；第二装载工位位于所述第一装载工位的一侧；进出站机器人，用于将所述第一装载工位上的晶圆传送至进片总工位，以及将片盒回片支路工位上的晶圆传送至所述第二装载工位；传片机械手，用于将进片总工位上的晶圆传送至片盒进片支路工位；所述片盒回片支路工位位于所述片盒进片支路工位的底侧；所述传片机械手位于所述片盒模块的第一侧或第二侧；所述传片机械手的对侧安置有辅助工艺单元，所述辅助工艺单元用于对晶圆进行辅助处理。该片盒模块用于适应高吞吐量的晶圆生产需求。
本实用新型片盒模块和涂胶显影装置在权利要求书中公布了：1.一种片盒模块，应用于涂胶显影装置，其特征在于，包括： 第一装载工位，用于装载待处理的晶圆；第二装载工位，用于装载已处理的晶圆； 进出站机器人，用于将所述第一装载工位上的晶圆传送至进片总工位，以及将片盒回片支路工位上的晶圆传送至所述第二装载工位； 传片机械手，用于将进片总工位上的晶圆传送至片盒进片支路工位； 所述传片机械手位于所述片盒模块的第一侧或第二侧；所述传片机械手的对侧安置有辅助工艺单元，所述辅助工艺单元用于对晶圆进行辅助处理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳芯源微电子设备股份有限公司，其通讯地址为：110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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