拓荆科技(上海)有限公司董文惠获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种喷淋板组件及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292638U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422790233.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种喷淋板组件及薄膜沉积设备是由董文惠设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋板组件及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种喷淋板组件及薄膜沉积设备，喷淋板组件包括喷头上板、多个云母片和固设在喷头上板的隔热件，多个云母片沿喷头上板的径向间隔固设在喷头上板的顶端；隔热件包括主体和多个用于隔绝相邻两个云母片的隔绝部，隔绝部的顶端与主体固定连接，主体和相邻的两个隔绝部和喷头上板围合形成冷却腔，冷却腔具有多个，且多个冷却腔内分别对应设有云母片；其中，向多个冷却腔通入冷却气体以冷却多个云母片。本申请通过多个云母片加热，以增加喷淋板的导热效率和稳定性；隔绝部隔绝多个云母片，并与主体和喷头上板围合形成多个冷却腔，每个云母片对应位于每个冷却腔内，冷却气体通入冷却腔内对云母片降温，以提高喷淋板组件的散热效果。
本实用新型一种喷淋板组件及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋板组件，其特征在于，包括： 喷头上板； 多个云母片，所述多个云母片沿所述喷头上板的径向间隔固设在所述喷头上板的顶端； 固设在所述喷头上板的隔热件，所述隔热件包括主体和多个用于隔绝相邻两个所述云母片的隔绝部，所述隔绝部的顶端与所述主体固定连接，所述主体和相邻的两个所述隔绝部和所述喷头上板围合形成冷却腔，所述冷却腔具有多个，且所述多个冷却腔内分别对应设有所述云母片； 其中，向所述多个冷却腔通入冷却气体以冷却所述多个云母片。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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