济南量子技术研究院;合肥国家实验室孙潇莹获国家专利权
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龙图腾网获悉济南量子技术研究院;合肥国家实验室申请的专利一种实时监测样品温度的压环装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422752454.6，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种实时监测样品温度的压环装置是由孙潇莹;宿非凡;邓辉;严凯;张海斌;秦文斌;张富荣;燕军祥;郭旭续;任家硕设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种实时监测样品温度的压环装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种实时监测样品温度的压环装置，包括承载台，承载台上端设有用于夹持基片的环向夹持结构，所述承载台为中空柱状结构，内部具有上下贯通的空腔，承载台的内部设有用于实时监测基片温度的热成像摄像头，所述热成像摄像头配置有外接主机，所述热成像摄像头的拍摄端朝向承载台延伸，热成像摄像头的拍摄中心与环向夹持结构的轴线一致。样品温度和表面缺陷便于观察，可进一步提高工艺把控能力，从而提高成品率。
本实用新型一种实时监测样品温度的压环装置在权利要求书中公布了：1.实时监测样品温度的压环装置，包括承载台，承载台上端设有用于夹持基片的环向夹持结构，其特征在于，所述承载台为中空柱状结构，内部具有上下贯通的空腔，承载台的内部设有用于实时监测基片温度的热成像摄像头，所述热成像摄像头配置有外接主机，所述热成像摄像头的拍摄端朝向承载台延伸，热成像摄像头的拍摄中心与环向夹持结构的轴线一致。
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