济南量子技术研究院;合肥国家实验室燕军祥获国家专利权
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龙图腾网获悉济南量子技术研究院;合肥国家实验室申请的专利一种可在真空下清洁碎屑的PVD设备清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292633U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422752199.5，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种可在真空下清洁碎屑的PVD设备清洁装置是由燕军祥;宿非凡;邓辉;严凯;张海斌;秦文斌;孙潇莹;张梦雨;宗华;王亚萍设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可在真空下清洁碎屑的PVD设备清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种可在真空下清洁碎屑的PVD设备清洁装置，包括真空腔室，真空腔室内设有靶材承载平台，真空腔室的侧壁上具有开关门和破真空阀门，真空腔室的内部还设有清理机构和视觉检测机构，清理机构包括三维传动臂，还包括布置在真空腔室中的收屑盒，三维传动臂的外端具有驱动机构，三维传动臂的尾端设有清洁头，三维传动臂在靶材承载平台和收屑盒之间往复移动以将收集的碎屑放入收屑盒中；视觉检测机构包括显微镜，显微镜布置在靶材承载平台的一侧，视觉检测机构还包括布置在显微镜的前端的活动挡板，可挡设在显微镜的图像采集路径中；实现在真空状态下清洁设备腔体内部产生的碎屑，避免因碎屑的产生导致薄膜质量下降。
本实用新型一种可在真空下清洁碎屑的PVD设备清洁装置在权利要求书中公布了：1.可在真空下清洁碎屑的PVD设备清洁装置，包括真空腔室，真空腔室内设有靶材承载平台，真空腔室的侧壁上具有开关门和破真空阀门，其特征在于，所述真空腔室的内部还设有清理机构和视觉检测机构，所述清理机构包括布置在真空腔室上的三维传动臂，还包括布置在真空腔室中的收屑盒，三维传动臂的外端具有驱动机构，三维传动臂的尾端设有清洁头，所述三维传动臂在靶材承载平台和收屑盒之间往复移动以将收集的碎屑放入收屑盒中；所述视觉检测机构包括显微镜，所述显微镜布置在所述靶材承载平台的一侧，所述视觉检测机构还包括布置在显微镜的前端的活动挡板，活动挡板往复移动可挡设在显微镜的图像采集路径中以避免碎屑撞击显微镜，也可自显微镜的图像采集路径中脱离以用于检测靶材承载平台上的碎屑分布情况。
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