伯恩光学(惠州)有限公司;伯恩精密(惠州)有限公司严英明获国家专利权
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龙图腾网获悉伯恩光学(惠州)有限公司;伯恩精密(惠州)有限公司申请的专利晶圆级光学元件产品的夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223296799U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422746260.5,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型晶圆级光学元件产品的夹具是由严英明;曾嘉睿;来云鹤设计研发完成,并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆级光学元件产品的夹具在说明书摘要公布了:一种晶圆级光学元件产品的夹具,包括:用于对产品进行外圈悬浮支撑的支撑环1、用于小面积夹紧固定产品边缘的固定爪3、用于分散力量的卸力连接机构2;一组所述固定爪3呈一圈分布在所述支撑环1的内部,并通过对应的一组所述卸力连接机构2连接所述支撑环1,本实用新型采用了边缘小范围夹持以及悬浮支撑方式,尽量避免夹具对产品的干涉,为测试用的光学元件留出足够的空间,光学元件可以贴近到样品上;而且这些固定爪各自通过对应的卸力连接机构连接支撑环,卸力连接机构帮助对所述产品的夹持固定的同时,减小作用于所述产品厚度方向的力,避免使由于加工误差导致的晶圆翘曲,提升对夹具的加工容忍度。
本实用新型晶圆级光学元件产品的夹具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆级光学元件产品的夹具,用于夹持所述产品进行光学测试,其特征在于,所述夹具包括:用于对所述产品进行外圈悬浮支撑的支撑环1、用于小面积夹紧固定所述产品边缘的固定爪3、用于分散力量的卸力连接机构2; 一组所述固定爪3呈一圈分布在所述支撑环1的内部,并通过对应的一组所述卸力连接机构2连接所述支撑环1,且所述卸力连接机构2基于弹性形变可在第一方向上发生细微摆动,以实现对所述产品的夹持固定的同时减小作用于所述产品厚度方向的力,从而使得所述夹具自适应贴合所述产品并防翘曲;其中,所述第一方向是指的垂直于所述支撑环1的周向的方向。
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