上海芯源微企业发展有限公司王荣祥获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利一种基板处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296788U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422726982.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种基板处理系统是由王荣祥;彭博;李泽;李爽;刘涛设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种基板处理系统，包括多个工位、转运装置和传送装置；其中，转运装置设置在所述工位上，用于取放所述基板；传送装置沿所述多个工位的排布方向设置，用于将所述基板转运至任意工位处，供所述转运装置取用。本实用新型的基板处理系统通过转运装置和传送装置配合完成基板的转运工作，大幅度提高了基板的转运效率。进一步的，在通过传送装置转运所述基板的同时，不影响其他工位的正常工作，有效提高了基板转运系统的效能。
本实用新型一种基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其特征在于，包括： 多个工位，所述多个工位间隔排布； 传送装置，沿所述多个工位的排布方向设置，所述传送装置包括用于装载所述基板的传送件；所述传送件可沿所述多个工位的排布方向往复移动，用于将所述基板传送至所述多个工位中任意一个所述工位对应的位置； 多个转运装置，与所述多个工位相对应，所述转运装置用于从与其对应的所述工位取出所述基板，并将所述基板放置在所述传送件上；所述转运装置还用于从所述传送件上取出所述基板，并将所述基板放置在与所述转运装置对应的所述工位上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯源微企业发展有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路1388号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励