常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权
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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种用于CVD反应炉的载具保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296780U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422709902.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种用于CVD反应炉的载具保护装置是由冯磊设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CVD反应炉的载具保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于CVD反应炉的载具保护装置，包括保护盖和圆环，所述保护盖表面设置有折边，所述折边表面固定有第一滑轨，所述圆环表面固定有第二滑轨，所述第一滑轨表面滑动连接有多个第一滑块，所述第二滑轨表面滑动连接有多个第二滑块，所述第一滑块表面固定有第一侧板，所述第一侧板表面固定有第一转轴，所述第一转轴表面滑动连接有套壳，所述套壳内壁滑动连接有延伸板，所述第二滑块表面固定有第二侧板，所述第二侧板表面固定有第二转轴，所述第二转轴贯穿延伸板，所述延伸板与第二转轴表面滑动连接，所述第二转轴表面开设有安装槽。本实用新型具备能够根据需要改变圆孔位置，从而适应更多型号载具与拉杆保护需求的优点。
本实用新型一种用于CVD反应炉的载具保护装置在权利要求书中公布了：1.一种用于CVD反应炉的载具保护装置，包括保护盖1和圆环13，其特征在于：所述保护盖1表面设置有折边2，所述折边2表面固定有第一滑轨3，所述圆环13表面固定有第二滑轨12，所述第一滑轨3表面滑动连接有多个第一滑块4，所述第二滑轨12表面滑动连接有多个第二滑块11，所述第一滑块4表面固定有第一侧板5，所述第一侧板5表面固定有第一转轴6，所述第一转轴6表面滑动连接有套壳7，所述套壳7内壁滑动连接有延伸板8，所述第二滑块11表面固定有第二侧板9，所述第二侧板9表面固定有第二转轴10，所述第二转轴10贯穿延伸板8，所述延伸板8与第二转轴10表面滑动连接，所述第二转轴10表面开设有安装槽，安装槽内壁固定有弹簧14，所述弹簧14表面固定有U形板15，所述U形板15表面转动连接有转辊16。
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