青岛华旗科技有限公司姜洪斌获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华旗科技有限公司申请的专利一种保温门检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223295406U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422705776.5,技术领域涉及:G01B21/00;该实用新型一种保温门检测装置是由姜洪斌;姜雪玲设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种保温门检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体工艺技术领域,具体为一种保温门检测装置,包括安装在石英管开口端的保温门,所述保温门远离石英管的一侧设有支撑杆,所述支撑杆的外壁套设有套管,所述套管内设有传感器触发杆,所述传感器触发杆与支撑杆首尾相接,所述传感器触发杆的后端设有限位传感器,所述限位传感器安装在移动座上,当保温门与石英管紧密接触后,支撑杆推动传感器触发杆与限位传感器接触,本实用新型中当石英管因长时间的高温状态变形时,保温门会提前与石英管接触,此时传感器触发杆无法触发限位传感器,限位传感器将传出信号,便于工作人员进行检修,能有效的保证石英管内的气氛,提高了产品的合格率。
本实用新型一种保温门检测装置在权利要求书中公布了:1.一种保温门检测装置,包括安装在石英管1开口端的保温门2,其特征在于,所述保温门2远离石英管1的一侧设有支撑杆3,所述支撑杆3的外壁套设有套管4,所述套管4内设有传感器触发杆7,所述传感器触发杆7与支撑杆3首尾相接,所述传感器触发杆7的后端设有限位传感器8,所述限位传感器8安装在移动座12上,当保温门2与石英管1紧密接触后,支撑杆3推动传感器触发杆7与限位传感器8接触。
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