深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司王耀获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利清洗装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296776U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422703447.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型清洗装置及半导体设备是由王耀;王震;彭超设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种清洗装置及半导体设备；其中，清洗装置包括：供液装置，用于向基板提供处理液；处理箱，设有容置空间；所述处理箱的底部具有倾斜的导流面；载台，容置于所述容置空间内并安装于所述处理箱的底部，同时在所述底部上的投影部分覆盖所述导流面；所述载台设置于所述供液装置下方并与所述供液装置对应，所述载台用于承载基板；排液装置，与所述导流面连接，用于将所述处理液排出所述容置空间。
本实用新型清洗装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括： 供液装置，用于向基板提供处理液； 处理箱，设有容置空间；所述处理箱的底部具有倾斜的导流面； 载台，容置于所述容置空间内并安装于所述处理箱的底部，同时在所述底部上的投影部分覆盖所述导流面；所述载台设置于所述供液装置下方并与所述供液装置对应，所述载台用于承载基板； 排液装置，与所述导流面连接，用于将所述处理液排出所述容置空间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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