合肥中科微波科技有限公司李汉国获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥中科微波科技有限公司申请的专利一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119480614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411547845.2,技术领域涉及:H01J61/56;该发明授权一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统是由李汉国设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统,利用固态微波源容易低压控制的优势,以工作频率为中心,向两边展宽一定宽度的频谱范围,在微波光源发光时,实际工作频率的频点,在此中心频点展宽的频谱范围内,以一定的周期产生高频振荡,使频率点不断改变;在微波等离子体光源的启动阶段,在频谱展宽的情况下,使用连续波工作模式。在稳定弧光放电阶段,达到热平衡时,在频谱展宽的同时叠加上具有一定占空比的脉冲功率调制波形,通过改变占空比和调制频率,实现同等输入电功率的条件下,降低电磁辐射和提高微波光源发光效率。
本发明授权一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统在权利要求书中公布了:1.一种固态微波源等离子体光源调制方法,其特征在于,包括下列步骤: 在等离子体光源启动阶段,将工作频率设置为以中心工作频点向两侧展宽的预设频谱展宽范围,使用连续波工作模式; 在稳定弧光放电阶段,保持预设频谱展宽范围,并叠加具有预设占空比的脉冲功率调制波形; 在等离子体光源启动阶段,通过压控振荡器产生频谱展宽; 在稳定弧光放电阶段,通过方波控制二级放大器漏级调制或者压控振荡器后的微波开关,产生脉冲功率调制波形; 所述脉冲功率调制波形为方波,采用三角波或锯齿波控制所述压控振荡器; 所述在等离子体光源启动阶段,将工作频率设置为以中心工作频点向两侧展宽的预设频谱展宽范围,使用连续波工作模式,具体为:所述在等离子体光源启动阶段,通过微控制器1输出方波脉冲信号,通过RC滤波器5所述方波脉冲信号进行整形,形成具有预设幅度的三角波,形成调制波形,然后通过压控振荡器2使工作频率在中心工作频点F0两侧2Δf带宽内振荡作频点向两侧展宽,形成震荡波形。
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