乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利化学气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292634U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422637661.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型化学气相沉积装置是由周向阳设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于显示装置制造技术领域，公开了一种化学气相沉积装置，包括腔体、安装架、上电极、下电极和绝缘垫，腔体通过安装架设置于地面上，腔体内设置有沉积腔，上电极和下电极沿竖直方向间隔设置于沉积腔，上电极连接射频电源，下电极接地并用于承托待镀工件，绝缘垫至少包覆设置于沉积腔沿水平方向的周侧腔壁上。通过在沉积腔的周侧腔壁上包覆绝缘垫，能够避免等离子体粘附于沉积腔的周侧腔壁上而形成薄膜，保证沉积腔的周侧腔壁的导电率，使沉积腔内等离子体的流向趋于平衡，从而使待镀工件镀膜的沉积速率更为稳定，有效提升镀膜的致密度、均一性以及厚度精度，保证待镀工件的镀膜质量。
本实用新型化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括腔体、安装架、上电极、下电极和绝缘垫，所述腔体通过所述安装架设置于地面上，所述腔体内设置有沉积腔，所述上电极和所述下电极沿竖直方向间隔设置于所述沉积腔，所述上电极连接射频电源，所述下电极接地并用于承托待镀工件，所述绝缘垫至少包覆设置于所述沉积腔沿水平方向的周侧腔壁上。
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