河南天璇半导体科技有限责任公司崔名扬获国家专利权
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龙图腾网获悉河南天璇半导体科技有限责任公司申请的专利一种用于单晶金刚石合成的装置系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292705U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422606481.2，技术领域涉及：C30B25/00；该实用新型一种用于单晶金刚石合成的装置系统是由崔名扬;任丽;李宏利;方海江设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于单晶金刚石合成的装置系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积法制备单晶金刚石技术领域，尤其涉及一种用于单晶金刚石合成的装置系统。本实用新型的单晶金刚石合成的装置系统包括反应腔体，反应腔体内设有生长基台，反应腔体连接有输入管道、排气管道和双向管道；输入管道上设有混气阀，混气阀连接有特气管道用以输送工艺气体，特气管道上设有质量流量计和气动隔膜阀；排气管道上设有挡板阀、和挡板阀并接的精抽阀和真空泵，真空泵串接在挡板阀和精抽阀的下游；在双向管道上设有真空计和放气阀。本实用新型的单晶金刚石合成的装置系统，精确调控用MPCVD法制备单晶金刚石过程的工艺气体流量、腔体气压等影响因素，便于用MPCVD法制备单晶金刚石。
本实用新型一种用于单晶金刚石合成的装置系统在权利要求书中公布了：1.一种用于单晶金刚石合成的装置系统，包括反应腔体，所述反应腔体内设有生长基台，其特征在于，所述反应腔体连接有输入管道、排气管道和双向管道；所述输入管道上设有混气阀，所述混气阀连接有特气管道用以输送工艺气体，所述特气管道上设有质量流量计和气动隔膜阀；所述排气管道上设有挡板阀、和挡板阀并接的精抽阀和真空泵，所述真空泵串接在挡板阀和精抽阀的下游；在所述双向管道上以所述反应腔体为起点依次设有真空计和放气阀。
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