熠铎科技(苏州)有限公司周旭获国家专利权
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龙图腾网获悉熠铎科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆玻璃载片坯料TTV修正装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223289583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422579281.2，技术领域涉及：B24B55/00；该实用新型晶圆玻璃载片坯料TTV修正装置是由周旭;梁超;李正华;员英杰;王华野设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆玻璃载片坯料TTV修正装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了晶圆玻璃载片坯料TTV修正装置，包括：底板、固定于底板顶部的折弯板和安装于底板顶部外壁上的电动滑台，还包括：固定于电动滑台滑动件上的壳体，所述壳体内壁转动安装有调节辊，且壳体内壁安装有调节组件。可将晶圆玻璃载片放在载片台上，通过激光传感器对晶圆玻璃载片表面平坦度进行检测，通过电机带动传动组件转动，进而带动调节组件转动，通过调节组件带动调节辊进行缓慢转动，进而无级调节载片台和晶圆玻璃载片的水平角度位置，方便根据晶圆玻璃载片表面平坦度，调整晶圆玻璃载片自身水平状态，有助于进行工艺角度调整，能够减小晶圆玻璃载片TTV值，从而提高晶圆玻璃载片磨削质量。
本实用新型晶圆玻璃载片坯料TTV修正装置在权利要求书中公布了：1.晶圆玻璃载片坯料TTV修正装置，包括： 底板1、固定于底板1顶部的折弯板2和安装于底板1顶部外壁上的电动滑台3； 其特征在于，还包括：固定于电动滑台3滑动件上的壳体4，所述壳体4内壁转动安装有调节辊5，且壳体4内壁安装有调节组件6，所述调节辊5顶部安装有载片台7，且壳体4一侧外壁安装有电机8，所述电机8输出轴上安装有传动组件9，且电机8通过传动组件9与调节组件6连接，所述折弯板2顶部内壁安装有激光传感器10，且折弯板2一侧内壁安装有控制器11，所述壳体4一侧外壁安装有电动夹爪12，且电动夹爪12两个夹持件上均固定有夹板13，所述调节辊5两端均固定有限位板14。
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