深圳市矩阵多元科技有限公司肖荣锋获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种布气结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292623U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422570041.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种布气结构是由肖荣锋;朱新华;杨洪生;张晓军设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种布气结构在说明书摘要公布了：本申请提供了一种布气结构，属于半导体生产设备技术领域，包括：腔体、第一防着板、第二防着板、布气环，工艺气体经所述进气口送入时，工艺气体会先沿均气流道均匀分散至腔室的周侧，再通过孔隙结构向内输送，经过第一防着板、第二防着板之间的间隙进入到第一防着板、第二防着板包围的区域内，可以有效确保周向进气的均匀性。同时通过第一防着板、第二防着板之间的间隙来防止孔隙结构被镀膜堵塞，提高清洁的便捷性。并且布气环朝向进气口的一侧设置环形的均气流道，即均气流道为敞口式设计，方便清洁。
本实用新型一种布气结构在权利要求书中公布了：1.一种布气结构，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体的内部设置腔室，所述腔体设置连通所述腔室的进气口； 第一防着板，所述第一防着板设置于所述腔室内，所述第一防着板沿所述腔室的周向侧壁分布，并覆盖所述进气口，所述第一防着板与所述腔室的周向侧壁之间具有间距； 第二防着板，所述第二防着板设置于所述腔室内，所述第二防着板沿所述腔室的周向侧壁分布，所述第二防着板包括伸入所述第一防着板和所述腔室的侧壁之间的延伸段，所述延伸段与所述第一防着板之间具有间距； 布气环，所述布气环设置于所述第一防着板和所述腔室的周向侧壁之间，所述布气环覆盖于所述进气口，所述布气环朝向所述进气口的一侧设置环形的均气流道，所述布气环围绕所述第一防着板设置孔隙结构； 其中，工艺气体经所述进气口送入时，能够穿过所述均气流道、所述孔隙结构、所述第一防着板和所述第二防着板之间的间隙进入所述第一防着板的内侧空间。
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