盖泽精密科技(苏州)有限公司周益初获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉盖泽精密科技(苏州)有限公司申请的专利一种检测晶圆膜厚的光路结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223295393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422550231.1，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种检测晶圆膜厚的光路结构是由周益初;卢利军;周亭成;任杰设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测晶圆膜厚的光路结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种检测晶圆膜厚的光路结构，包括光源、反射镜一、反射镜二、窗片、反射镜三、红外接收器，所述反射镜一与光源设置在同一水平直线的两端，所述窗片设于待检测的晶圆正上方，所述反射镜二与反射镜一并列设置，且两者设于窗片的上方两侧，且反射镜一到窗片的反射光与窗片到反射镜二的反射光之间的夹角为锐角；所述反射镜三与反射镜二设置在同一水平直线的两端，所述红外接收器设于反射镜三一侧，经光源发出的光依次经反射镜一、窗片、反射镜二、反射镜三反射后被红外接收器接收。本实用新型将水平设置的光转换成竖直设置的光，便于光路结构在膜厚检测设备的布置，且检测精准，操作灵活性好。
本实用新型一种检测晶圆膜厚的光路结构在权利要求书中公布了：1.一种检测晶圆膜厚的光路结构，其特征在于：包括光源、反射镜一、反射镜二、窗片、反射镜三、红外接收器，所述反射镜一与光源设置在同一水平直线的两端，所述窗片设于待检测的晶圆正上方，所述反射镜二与反射镜一并列设置，且两者设于窗片的上方两侧，且反射镜一到窗片的反射光与窗片到反射镜二的反射光之间的夹角为锐角；所述反射镜三与反射镜二设置在同一水平直线的两端，所述红外接收器设于反射镜三一侧，经光源发出的光依次经反射镜一、窗片、反射镜二、反射镜三反射后被红外接收器接收。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盖泽精密科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区泰山路128号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励