广东省广新离子束科技有限公司胡俸华获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省广新离子束科技有限公司申请的专利一种用于不耐高温基材在真空室镀膜中的温控系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292632U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422519695.6，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种用于不耐高温基材在真空室镀膜中的温控系统是由胡俸华;罗军;权亚彤;王国梁设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于不耐高温基材在真空室镀膜中的温控系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于不耐高温基材在真空室镀膜中的温控系统，包括设置于真空室内且与基材相贴合进行换热的热交换组件，所述热交换组件与设置于真空室外且并行设置的冷却模块以及升温模块相连通；设置冷却模块，对镀膜过程中的基材进行冷却，从而带走基材的温度，使基材在较低的温度下进行镀膜，从而在镀膜过程保护不耐高温基材，避免较高的温度而影响镀膜效果，因此可连续作业，同时缩短基材的冷却降温时间，从而提高生产效率；设置升温模块，调整真空室的温度以及基材的温度至与环境温度相持平的状态，避免打开真空门取出完成镀膜的基材时表面会由于空气中的水分子凝结成水滴而影响基材的问题发生。
本实用新型一种用于不耐高温基材在真空室镀膜中的温控系统在权利要求书中公布了：1.一种用于不耐高温基材在真空室镀膜中的温控系统，包括设置于真空室内且与基材1相贴合进行换热的热交换组件2，其特征在于，所述热交换组件2与设置于真空室外且并行设置的冷却模块3以及升温模块4相连通； 所述冷却模块3的输出端与升温模块4的输出端相连通且输出至热交换组件2的输入端； 所述冷却模块3的输入端与升温模块4的输入端相连通且与所述热交换组件2的输出端相连通； 所述冷却模块3、升温模块4、热交换组件2内部均流通换热流体。
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