浙江晶阳机电股份有限公司程旭兵获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶阳机电股份有限公司申请的专利一种带触液保护装置的硅芯炉冷却装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223292698U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422520967.4,技术领域涉及:C30B15/00;该实用新型一种带触液保护装置的硅芯炉冷却装置是由程旭兵;周波设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带触液保护装置的硅芯炉冷却装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅芯炉技术领域,涉及一种带触液保护装置的硅芯炉冷却装置,包括:石英坩埚和水冷屏,所述水冷屏包括进出水机构以及位于所述进出水机构底端的冷却环,所述冷却环内部设置有阶梯式冷却水道,所述阶梯式冷却水道内圆形阵列设置有多组容纳晶棒的引晶孔,所述冷却环上贯通设置有安装孔,所述安装孔内螺纹连接设置有触液杆,所述触液杆的工作端贯穿所述冷却环并朝向所述石英坩埚且其上端和控制中枢电性连接。本实用新型通过水冷屏上设置的触液杆实时监控石英坩埚内液面与水冷屏之间的间距,当触液杆接触到液面时,立即发出报警信号方便工艺人员更快的做出保护措施,避结构简单,操作方便,降低了生产事故的发生率。
本实用新型一种带触液保护装置的硅芯炉冷却装置在权利要求书中公布了:1.一种带触液保护装置的硅芯炉冷却装置,其特征在于,包括:石英坩埚1和水冷屏2,所述水冷屏2包括进出水机构21以及位于所述进出水机构21底端的冷却环22,所述冷却环22内部设置有阶梯式冷却水道221,所述阶梯式冷却水道221内圆形阵列设置有多组容纳晶棒的引晶孔222,所述冷却环22上贯通设置有安装孔31,所述安装孔31内螺纹连接设置有触液杆32,所述触液杆32的工作端贯穿所述冷却环22并朝向所述石英坩埚1且其上端和控制中枢电性连接。
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