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龙图腾网获悉博纳半导体设备(浙江)有限公司申请的专利晶圆在腔体内的中心定位装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119324179B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411409098.6，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆在腔体内的中心定位装置和方法是由刘亮;沈伟设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆在腔体内的中心定位装置和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆定位技术领域，具体的是晶圆在腔体内的中心定位装置和方法，本发明包括底板，所述底板上端表面靠近中部位置安装有晶圆载台，所述晶圆载台上端表面固定安装有晶圆中心定位治具，所述晶圆载台上端表面靠近一侧位置固定连接有挡板，所述晶圆载台上端表面靠近挡板一侧位置安装有平移底板，所述底板上端表面靠近边角位置设置有视觉拍照系统，所述底板上方且靠近晶圆中心定位治具一侧位置安装有定位卡块，本发明利用视觉拍照系统、视觉软件、机械运动部件，将晶圆中心位置和腔体内中心位置的误差控制在晶圆加工允许的误差范围之内，从而使半自动或手动的半导体设备的晶圆加工满足要求。

本发明授权晶圆在腔体内的中心定位装置和方法在权利要求书中公布了：1.晶圆在腔体内的中心定位装置，包括底板（21），其特征在于，所述底板（21）上端表面靠近中部位置安装有晶圆载台（1），所述晶圆载台（1）上端表面固定安装有晶圆中心定位治具（4），所述晶圆载台（1）上端表面靠近一侧位置固定连接有挡板（20），所述晶圆载台（1）上端表面靠近挡板（20）一侧位置安装有平移底板（26），所述底板（21）上端表面靠近边角位置设置有视觉拍照系统，所述底板（21）上方且靠近晶圆中心定位治具（4）一侧位置安装有左定位卡块（2），所述底板（21）上方且靠近晶圆中心定位治具（4）另一侧位置安装有右定位卡块（5）； 所述视觉拍照系统包括平移轴运动导轨滑块（18），所述平移轴运动导轨滑块（18）滑动安装在底板（21）上端表面，所述平移轴运动导轨滑块（18）一端固定连接有Z轴安装件（16），所述Z轴安装件（16）外侧壁靠近上端位置安装有Z轴运动导轨滑块（15）； 底板（21）上端表面靠近平移轴运动导轨滑块（18）一端位置安装有平移轴电机（17），且所述平移轴电机（17）输出端与平移轴运动导轨滑块（18）相连； 所述Z轴运动导轨滑块（15）外侧壁固定连接有安装板（7），所述安装板（7）外侧壁固定安装有相机（19），所述相机（19）底面固定连接有镜头（10），所述Z轴安装件（16）外侧壁且位于Z轴运动导轨滑块（15）下方位置固定安装有光源安装调节件（13）； 所述Z轴安装件（16）外侧壁且位于光源安装调节件（13）下方位置固定安装有Z轴电机（12），所述Z轴安装件（16）外侧壁且位于镜头（10）正下方位置安装有光源（11）； 所述左定位卡块（2）一侧固定安装有左伺服平移臂（3），所述右定位卡块（5）一侧位置安装有右伺服平移臂（6）； 所述底板（21）上端表面靠近中部位置安装有主轴电机（25），所述底板（21）上端表面靠近主轴电机（25）一侧位置安装有排风盒（24），所述底板（21）上端表面靠近排风盒（24）一侧位置固定安装有抽液器（27）； 所述平移底板（26）外侧壁安装有左伺服平移机构（8）与右伺服平移结构（9），所述右伺服平移臂（6）下方固定安装有胶嘴润湿排废组件（22），所述左伺服平移臂（3）下方固定安装有正面洗边排废盒组件（23），所述底板（21）底面固定连接有腔体漏液接板（28）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人博纳半导体设备(浙江)有限公司，其通讯地址为：314100 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路8号B4栋2楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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