捷捷微电(南通)科技有限公司陈国超获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种排气装置及涂胶设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223288404U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422328544.2，技术领域涉及：B05C11/00；该实用新型一种排气装置及涂胶设备是由陈国超;陆晓波;李一华;吴胜荣设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种排气装置及涂胶设备在说明书摘要公布了：一种排气装置及涂胶设备，涉及涂胶设备技术领域。本申请提供的排气装置，包括管道，管道的相对两端分别设置有入气口和出气口，入气口与涂胶单元的基座连接，涂胶单元产生的气体由入气口进入管道，并由出气口向外界排出；排气装置还包括入液管和排液管，入液管和排液管分别设置于管道的相对两端且与管道相连通，入液管和排液管设置于入气口和出气口之间；清洗液由入液管流入管道，并由排液管排出。上述排气装置能够提高涂胶单元的涂胶过程中排气压力稳定，避免雾滴和颗粒落在晶圆上，提高了产品良率。
本实用新型一种排气装置及涂胶设备在权利要求书中公布了：1.一种排气装置，其特征在于，包括管道110，所述管道110的相对两端分别设置有入气口111和出气口112，所述入气口111与涂胶单元的基座连接，所述涂胶单元产生的气体由所述入气口111进入所述管道110，并由所述出气口112向外界排出；所述排气装置100还包括入液管120和排液管130，所述入液管120和所述排液管130分别设置于所述管道110的相对两端且与所述管道110相连通，所述入液管120和所述排液管130设置于所述入气口111和所述出气口112之间；清洗液由所述入液管120流入所述管道110，并由所述排液管130排出。
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