日月新半导体(昆山)有限公司黄忠荣获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种光罩自动转换机装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296278U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422215151.0，技术领域涉及：G03F1/84；该实用新型一种光罩自动转换机装置是由黄忠荣设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩自动转换机装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体曝光技术领域的一种光罩自动转换机装置，包括：手臂夹爪，可以固定横向左右移动及上下升降，用于夹持光罩；平面扫描器，在光罩放定点后对光罩扫描以检测光罩是否有受损；监视器，监视在光罩转换时是否会有异常；显示器，连接平面扫描器，可从平面扫描器上直接看到光罩扫描状况；三色警示灯，用于在转换机机台动作异常时,直接跳出警示使转换机机台停止运作。通过自动化的手臂夹爪，实现了光罩的横向移动和定点升降，避免了手指直接接触光罩，减少了指纹污染和微粒掉落的风险，平面扫描器确保了对光罩的全面检查，本实用新型提高了曝光机的工作效率，减少了因光罩污染或损坏导致的生产中断，提升了良品率。
本实用新型一种光罩自动转换机装置在权利要求书中公布了：1.一种光罩自动转换机装置，其特征在于：包括： 手臂夹爪1，可以固定横向左右移动及上下升降，用于夹持光罩； 平面扫描器2，在光罩放定点后对光罩扫描以检测光罩是否有受损； 监视器3，监视在光罩转换时是否会有异常； 显示器4，连接平面扫描器2，可从平面扫描器2上直接看到光罩扫描状况； 三色警示灯5，用于在转换机机台动作异常时,直接跳出警示使转换机机台停止运作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日月新半导体(昆山)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路497号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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