浙江大族富创得科技有限公司刘孟飞获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种晶圆夹取机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296794U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422132248.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆夹取机构是由刘孟飞;苏昌全设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹取机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其是指一种晶圆夹取机构，包括夹取仓、与夹取仓连接的夹取爪、与夹取爪驱动连接的夹取驱动机构，所述夹取爪设置有吸附区，所述夹取驱动机构驱动夹取爪移动，以使得夹取爪靠近或远离夹取仓；当夹取晶圆时，所述夹取驱动机构带动夹取爪靠近晶圆，晶圆被负压吸附在吸附区处；当晶圆夹取后，所述夹取驱动机构带动夹取爪靠近夹取仓，以使得夹取爪移动至夹取仓的上方或者下方；本实用新型能够使晶圆夹取后，将晶圆移出晶圆装载空间，实现狭窄空间的晶圆夹取，夹取仓能够顺利在晶圆装载空间移动，提升晶圆装载效率。
本实用新型一种晶圆夹取机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹取机构，其特征在于，包括夹取仓1、与夹取仓1连接的夹取爪2、与夹取爪2驱动连接的夹取驱动机构300，所述夹取爪2设置有吸附区201，所述夹取驱动机构300驱动夹取爪2移动，以使得夹取爪2靠近或远离夹取仓1； 当夹取晶圆时，所述夹取驱动机构300带动夹取爪2靠近晶圆，晶圆被负压吸附在吸附区201处； 当晶圆夹取后，所述夹取驱动机构300带动夹取爪2靠近夹取仓1，以使得夹取爪2移动至夹取仓1的上方或者下方。
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