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龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种DSP EFEM自动抽检方法、系统、介质及产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119092423B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411196625.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种DSP EFEM自动抽检方法、系统、介质及产品是由张永涛;王宏声;关仁杰;葛成重设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种DSP EFEM自动抽检方法、系统、介质及产品在说明书摘要公布了：本申请公开了一种DSPEFEM自动抽检方法、系统、介质及产品，涉及半导体制造与封装测试领域，该系统包括：DSPEFEM控制系统、第一机器人、第二机器人和检测设备；DSPEFEM控制系统控制第一机器人和第二机器人将I个待抽检的晶圆逐个从第一下料缓存单元移载至中转单元，再由中转单元移载至抽检上料单元；在移载完成后，通过检测设备对抽检上料单元上的待抽检的晶圆进行检测，并在检测完成后，DSPEFEM控制系统控制第一机器人和第二机器人将I个检测完成的晶圆逐个从抽检上料单元移载至中转单元，再由中转单元移载至第二下料缓存单元。本申请避免了人工操作造成的晶圆损坏，还提高了效率，节省了人工成本。

本发明授权一种DSP EFEM自动抽检方法、系统、介质及产品在权利要求书中公布了：1.一种DSPEFEM自动抽检系统，其特征在于，所述DSPEFEM自动抽检系统包括： DSPEFEM控制系统、第一机器人、第二机器人和检测设备； 所述DSPEFEM控制系统分别与所述第一机器人和第二机器人连接；所述第一机器人和所述第二机器人设置在DSPEFEM设备内，所述DSPEFEM设备包括生产执行系统、第一下料缓存单元、中转单元、抽检上料单元、第二下料缓存单元； 所述DSPEFEM控制系统还分别与所述生产执行系统和检测设备连接，用于根据生产执行系统发送的抽检开始指令控制第一机器人和第二机器人将I个待抽检的晶圆逐个从第一下料缓存单元移载至中转单元，再由中转单元移载至抽检上料单元，并在移载完成后生成晶圆取出信号发送至检测设备，其中，I为待抽检的晶圆的数量； 所述检测设备，用于根据接收到的晶圆取出信号对抽检上料单元上待抽检的晶圆进行检测，并在检测完成后生成检测完成信号； 所述抽检上料单元，用于放置待抽检的晶圆和检测完成的晶圆； 所述第二下料缓存单元，用于放置从抽检上料单元返回的检测完成的晶圆； 所述DSPEFEM控制系统，还用于根据接收到的检测完成信号控制第一机器人和第二机器人将I个检测完成的晶圆逐个从抽检上料单元移载至中转单元，再由中转单元移载至第二下料缓存单元； 当生产执行系统发出抽检开始指令并指定待抽检晶圆的数量时，DSPEFEM自动抽检方法随即启动，DSPEFEM自动抽检方法包括： 取出晶圆，根据接收到的抽检开始指令，获取待抽检的晶圆的数量I，并控制第一机器人从第一下料缓存单元将第i个待抽检的晶圆移载至中转单元，再由第二机器人将第i个待抽检的晶圆从中转单元移载至抽检上料单元，重复上述过程，直至i=I，其中，i=1，2，3......I； 检测晶圆，当接收到晶圆取出信号时，控制检测设备对待抽检的晶圆进行检测； 放回晶圆，当接收到检测完成信号时，控制第二机器人从抽检上料单元将第i个检测完成的晶圆移载至中转单元，再由第一机器人将第i个检测完成的晶圆从中转单元移载至第二下料缓存单元，重复上述过程，直至i=I，结束抽检； 所述检测晶圆步骤中，当接收到晶圆取出信号时还包括： 控制第一机器人将第一下料缓存单元中剩余的晶圆逐个移载至第二下料缓存单元； 所述第二下料缓存单元，还用于放置第一下料缓存单元中剩余的晶圆； 所述DSPEFEM自动抽检系统还包括：感应模块，所述感应模块与所述DSPEFEM控制系统连接； 所述感应模块设置在中转单元上，所述感应模块用于判断中转单元是否放置有晶圆，并生成中转信号； 所述DSPEFEM控制系统，还用于根据接收到的中转信号控制第一机器人返回至第一原点位置，或控制第二机器人返回至第二原点位置，其中，第一原点位置为距离第一下料缓存单元不超过预设阈值的任一位置，第二原点位置为距离抽检上料单元不超过预设阈值的任一位置。

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