先微精艺(苏州)科技有限公司王铭志获国家专利权
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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于晶圆清洗的多尺寸限位设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223288591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422077988.3，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型适用于晶圆清洗的多尺寸限位设备是由王铭志;韩之阳设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于晶圆清洗的多尺寸限位设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于晶圆清洗的多尺寸限位设备，包括有安装基座，安装基座上设置有垂直抬升装置，垂直抬升装置上设置有角度驱动装置，角度驱动装置的驱动端设置有承载法兰，承载法兰上设置有转盘组件，转盘组件上分别设置有6寸限位装置与8寸限位装置，6寸限位装置与8寸限位装置分别环状排列，分别构成6寸限位空间与8寸限位空间，6寸限位装置的高度低于8寸限位装置的高度。由此，设有垂直抬升装置，让后续装载的晶圆尽量处于清洗设备中的有效喷洒区域内，无需对喷洒装置所在高度进行二次调节，提升使用的便捷性。采用角度驱动装置，可配合转盘组件，在满足晶圆稳定限位的时候进行转动，实现无死角的清洁。
本实用新型适用于晶圆清洗的多尺寸限位设备在权利要求书中公布了：1.适用于晶圆清洗的多尺寸限位设备，包括有安装基座，其特征在于：所述安装基座上设置有垂直抬升装置，所述垂直抬升装置上设置有角度驱动装置，所述角度驱动装置的驱动端设置有承载法兰，所述承载法兰上设置有转盘组件，所述转盘组件上分别设置有6寸限位装置与8寸限位装置，所述6寸限位装置与8寸限位装置分别环状排列，分别构成6寸限位空间与8寸限位空间，所述6寸限位装置的高度低于8寸限位装置的高度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人先微精艺(苏州)科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区鸿禧路32号15幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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