江苏微导纳米科技股份有限公司毛文瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利大产量基片承载装置及基片处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422025426.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型大产量基片承载装置及基片处理设备是由毛文瑞;黄宗健设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本大产量基片承载装置及基片处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种大产量基片承载装置，包括桨杆、舟托和小舟。舟托支撑于桨杆，小舟支撑于所述舟托，多个所述小舟沿着所述桨杆的长度方向布设于所述舟托内，所述小舟具有至少两排承载组，多个所述承载组沿所述桨杆的宽度方向排布，每个所述承载组包括多个用于放置基片的承载位；所述舟托的底部中心形成有限位槽，多个所述桨杆相互间隔承靠于所述限位槽内。由于沿桨杆的宽度方向上具有至少两排承载组，因此能够有效地利用工艺容器内宽度方向的尺寸，提高空间利用率，增加载片量，从而提高生效效率，实现大产能。此外，桨杆从舟托底部的限位槽处提供支撑，可以避免桨杆分布于舟托两侧时对宽度方向空间的占用。本申请还涉及一种基片处理设备。
本实用新型大产量基片承载装置及基片处理设备在权利要求书中公布了：1.一种大产量基片承载装置，其特征在于，包括： 桨杆100； 舟托200，支撑于所述桨杆100；及 小舟300，支撑于所述舟托200，多个所述小舟300沿着所述桨杆100的长度方向布设于所述舟托200内，所述小舟300具有至少两排承载组，多个所述承载组沿所述桨杆100的宽度方向排布，每个所述承载组包括多个用于放置基片的承载位； 所述舟托200的底部中心形成有限位槽201，多个所述桨杆100相互间隔承靠于所述限位槽201内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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