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龙图腾网获悉中建材玻璃新材料研究院集团有限公司申请的专利一种CVD镀膜装置及其镀膜方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305812B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311346980.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种CVD镀膜装置及其镀膜方法和应用是由彭寿;王东;姚婷婷;鲍田;杨扬;甘治平;李刚;汤永康;王金磊设计研发完成，并于2023-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CVD镀膜装置及其镀膜方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种CVD镀膜装置，包括设置于所述镀膜室内的组合式进气道，组合式进气道包括气道宽度固定的第一进气道、以及气道宽度可调的第二进气道，且两者具有相同的初始宽度D；第二进气道接近基板；其中，将氮气预分为第一氮气、第二氮气和第三氮气，分别送入第一进气道、过渡区、以及第二进气道，并使过渡区内气体的温度低于触发CVD反应的下限温度T；使CVD反应的沉积物在第二进气道表面均匀分布，当沉积物累积到使第二进气道宽度小于镀膜工艺允许的下限时，调整第二进气道宽度，直至恢复初始宽度D。本发明有效延长了镀膜持续时间；并在不增加氮气总量的前提下，分出第二氮气、第三氮气对进气道进行冷却，大大提高了氮气的利用效率。

本发明授权一种CVD镀膜装置及其镀膜方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种CVD镀膜装置，包括由镀膜室3和排气道12构成的镀膜器1以及处于所述镀膜器1正下方的待镀膜基板10，其特征在于：该装置还包括设置于所述镀膜室3内的组合式进气道2，其用于将外部的氮气和前驱气体送入所述镀膜室3；所述组合式进气道2包括气道宽度固定的第一进气道21、以及气道宽度可调的第二进气道22，且两者具有相同的初始宽度D；所述第一进气道21和第二进气道22相互竖直连通，且所述第二进气道22接近所述基板10； 其中，将所述氮气预分为第一氮气、第二氮气和第三氮气，分别送入所述第一进气道21、所述第一进气道21与第二进气道22之间的过渡区20、以及所述第二进气道22，并使所述过渡区20内气体的温度低于触发CVD反应的下限温度T；以及，使CVD反应的沉积物14在所述第二进气道22表面均匀分布，当沉积物14累积到使所述第二进气道22宽度小于镀膜工艺允许的下限时，调整所述第二进气道22宽度，直至恢复所述初始宽度D。

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