买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州耀德半导体有限公司申请的专利一种分流式CVD沉积室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117265498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311226287.5，技术领域涉及：C23C16/26；该发明授权一种分流式CVD沉积室是由赖学明;王江;陈伟;乔明明设计研发完成，并于2023-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种分流式CVD沉积室在说明书摘要公布了：本发明公开了一种分流式CVD沉积室，涉及CVD沉积室技术领域，包括沉积筒，沉积筒内壁的固定连接有三组固定块，三组固定块上均固定连接有放置架。本发明通过转动单元、吹气单元的设置，驱动电机转动带动驱动轴转动带动三个固定齿轮进行转动，三个固定齿轮转动带动三个固定齿环和三个转动喷管进行转动，第一风机通过L形管、固定管、转动喷管由喷头进行吹风，进而使得工件的顶面能够能够与炭源气体接触，转动喷管转动带动固定杆和固定板进行转动，固定板转动带动炭源气体形成涡流，使得炭源气体能够与工件以涡流的方式进行增密，实现了对工件在增密的工程，能够对工件进行涡流增密和通过喷气的方式对工件的顶面增密，从而提高了对工件的增密效果。

本发明授权一种分流式CVD沉积室在权利要求书中公布了：1.一种分流式CVD沉积室，包括沉积筒1，其特征在于：所述沉积筒1内壁的固定连接有三组固定块101，三组所述固定块101上均固定连接有放置架102； 三个固定环103，三个所述固定环103分别设置于三个所述放置架102的上方； 转动吹气机构，所述转动吹气机构位于所述沉积筒1上； 所述转动吹气机构包括转动单元、吹气单元和传动单元，所述转动单元包括固定连接于所述沉积筒1顶部的驱动电机109，所述驱动电机109的输出端通过联轴器连接有驱动轴108，所述沉积筒1的顶部开设有转动孔，所述驱动轴108的底端贯穿所述转动孔并固定连接安装块113，所述安装块113的一端固定连接于所述沉积筒1的内壁，所述驱动轴108上键连接有三个固定齿轮107，三个所述固定环103上均转动套接有转动喷管104，三个所述转动喷管104内壁的圆周方向上均匀开设有多个喷头105，三个所述转动喷管104的圆柱外侧壁均固定连接固定齿环106，三个所述固定齿环106分别与三个所述固定齿轮107相啮合，三个所述转动喷管104的底端均固定连接有两个固定杆111，六个所述固定杆111的底端均固定连接有固定板112； 所述吹气单元包括固定连接于所述沉积筒1顶部的第一风机2，所述第一风机2的出风端固定连接有连接管201，所述连接管201的底端固定连接有固定管202，所述固定管202上固定连通有三个L形管203，所述沉积筒1的内壁开设有三个固定孔，三个所述固定环103的顶部均开设有进气孔，三个所述L形管203的底端分别贯穿三个所述固定孔并固定连接于三个所述进气孔内； 所述传动单元包括开设于所述沉积筒1顶部内壁的出气口，所述出气口内固定连接有安装罩4，所述安装罩4的内壁固定连接有三角架401，所述三角架401的顶部开设有活动孔，所述活动孔内转动连接有活动轴402，所述活动轴402的底端固定连接有吸风扇叶403，所述安装罩4的顶部开设有安装孔，所述活动轴402的顶端贯穿所述安装孔并延伸至所述安装罩4的上方，所述活动轴402与所述驱动轴108上均固定套接有传动轮404，两个所述传动轮404上共同张紧套接有传动带405； 所述沉积筒1的底端内壁开设有进气口，所述进气口内固定连接有固定罩3，所述固定罩3的下方设有第二风机301，所述第二风机301的输出端固定连通于所述固定罩3的底部，所述第二风机301的进风端固定连接有炭源气体进气管302； 固定罩3内设有转动轴306，所述转动轴306的底端固定连接有转动扇叶308，所述转动轴306的顶端延伸至所述沉积筒1内，所述转动轴306上均匀固定多组搅拌杆307，多组所述搅拌杆307均位于所述沉积筒1内； 所述转动轴306上转动套接有固定件305，所述固定件305的顶部固定连接有两个L形板304，两个所述L形板304的底端均固定连接于所述沉积筒1的底部内壁，所述固定件305的形状呈“圆锥状”。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州耀德半导体有限公司，其通讯地址为：215127 江苏省苏州市工业园区唯西路26号2号厂房101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。