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龙图腾网获悉苏州曼恺系统集成有限公司申请的专利一种半导体车间超纯水系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116924498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311087406.3，技术领域涉及：C02F1/00；该发明授权一种半导体车间超纯水系统是由张凤和设计研发完成，并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体车间超纯水系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体车间超纯水系统，包括滤气机构，滤气机构的一侧连接有注氧机构，注氧机构的底端设置有底架，注氧机构上设置有溶氧机构；注氧机构包括第一三通管，且注氧机构通过第一三通管与滤气机构相连，第一三通管的两个输出端分别设置有第一电磁阀，且第一三通管的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓，两个密封储液仓的同一侧内壁分别设置有排水口，且每个排水口上分别设置有第二电磁阀，两个密封储液仓的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头，且多个注氧头分为两组，每组注氧头分别连接有通气总管。本发明公开的半导体车间超纯水系统具有在流动水的处理过程中精准控制超纯水内的含氧量的效果。

本发明授权一种半导体车间超纯水系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体车间超纯水系统，包括滤气机构1，其特征在于，所述滤气机构1的一侧连接有注氧机构2，注氧机构2的底端设置有底架5，注氧机构2上设置有溶氧机构3，注氧机构2包括第一三通管201，且注氧机构2通过第一三通管201与滤气机构1相连，第一三通管201的两个输出端分别设置有第一电磁阀202，且第一三通管201的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓203，两个密封储液仓203的同一侧内壁分别设置有排水口205，且每个排水口205上分别设置有第二电磁阀204，两个密封储液仓203的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头206，且多个注氧头206分为两组，每组注氧头206分别连接有通气总管207，两个通气总管207同时通过第二三通管209连接有注氧机4，且两个通气总管207上分别设置有第三电磁阀208，每个密封储液仓203的顶端内壁分别贴合有感应板210； 所述滤气机构1包括封闭外壳体101，且封闭外壳体101的顶端内壁固定连接有多个负压吸引器103，封闭外壳体101内部设置有脱气膜组104，且脱气膜组104呈涡状设置； 所述脱气膜组104的一侧内壁紧密连接有多通注液管102，且多通注液管102穿过封闭外壳体101，脱气膜组104的另一侧内壁紧密连接有多通出液管105，且多通出液管105与第一三通管201相连； 所述脱气膜组104包括软性支撑架106，且软性支撑架106外包裹有脱气膜107，包裹后的脱气膜107呈空心状态； 所述脱气膜107之间等密度设置有多个隔断膜108，且多个隔断膜108上分别设置有槽口109，多个槽口109呈上下交错设置。

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