吉林大学;吉林大学深圳研究院邹广田获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学;吉林大学深圳研究院申请的专利一种TM022模式微波等离子体金刚石膜沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116926501B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310970540.1，技术领域涉及：C23C16/27；该发明授权一种TM022模式微波等离子体金刚石膜沉积装置是由邹广田;贾学林;刘学;吕宪义;李柳暗;王启亮设计研发完成，并于2023-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TM022模式微波等离子体金刚石膜沉积装置在说明书摘要公布了：本发明的一种TM022模式微波等离子体金刚石膜沉积装置，属于微波等离子体化学气相沉积技术领域。结构包括进气孔1、腔体2、观察窗口3、测温窗口4、等离子体半球5、样品台6、铜台7、环形石英玻璃8、倒圆台底柱9、出气孔10、微波同轴传输端口11、顶部调谐模块12。该装置采用TM022谐振模式，能够在高功率条件下实现沉积大面积高质量的金刚石薄膜生长。
本发明授权一种TM022模式微波等离子体金刚石膜沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种TM022模式微波等离子体金刚石膜沉积装置，其结构包括进气孔（1）、腔体（2）、观察窗口（3）、测温窗口（4）、等离子体半球（5）、样品台（6）、铜台（7）、环形石英玻璃（8）、倒圆台底柱（9）、出气孔（10）、微波同轴传输端口（11）、其特征在于，结构还有顶部调谐模块（12）；所述腔体（2）的上半部分壁面是椭圆壁面，下半部分壁面是圆柱壁面，所述椭圆壁面是由14椭圆特征曲线绕位于椭圆外部且与椭圆长轴平行的轴旋转一周得到的曲面，其椭圆特征曲线的方程为，其中a为59mm，b为100mm，；进气孔（1）位于腔体（2）的顶部边缘位置，顶部调谐模块（12）位于腔体（2）顶部中间位置，出气孔（10）位于腔体（2）圆柱壁面上，观察窗口（3）、测温窗口（4）位于腔体（2）的椭圆壁面上，微波同轴传输端口（11）位于腔体（2）底部，用于传输微波能量至腔体，腔体（2）的底部周围有环状凹槽（13），使得腔体（2）底部呈现下沉结构，环形石英玻璃（8）、倒圆台底柱（9）位于腔体（2）内部，且底面与腔体（2）的底部固定，顶部平齐，用于支撑铜台（7），铜台（7）顶部支撑样品台（6），等离子体半球（5）球面朝上放置在样品台（6）之上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉林大学;吉林大学深圳研究院，其通讯地址为：130012 吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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