深圳综合粒子设施研究院李焜阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳综合粒子设施研究院申请的专利一种极紫外掩模检测系统的标定方法及掩模检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117095056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310964723.2，技术领域涉及：G06T7/73；该发明授权一种极紫外掩模检测系统的标定方法及掩模检测方法是由李焜阳;周舟;骆钧尧;付锦江;邢振江设计研发完成，并于2023-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种极紫外掩模检测系统的标定方法及掩模检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种极紫外掩模检测系统的标定方法及掩模检测方法。所述方法包括：在极紫外掩模检测系统对各组目标图案进行掩模检测后，确定各组目标图案的掩模检测图像，目标图案为基于空间频率选择的标准图案，每组标准图案包括至少两个肘型图案，肘型图案之间的方向不同；获取各组目标图案的理想图像；确定各组目标图案的从掩模检测图像到理想图像的点扩散函数；根据各个点扩散函数，确定极紫外掩模检测系统的目标点扩散函数，目标点扩散函数用于调整待检测样品的掩模检测图像。本申请通过包括至少两个肘型图案的目标图案和对应的掩模检测图像、理想图像，求解极紫外掩模检测系统的更优点扩散函数，提高检测系统分辨率，实现高分辨率的掩模检测。
本发明授权一种极紫外掩模检测系统的标定方法及掩模检测方法在权利要求书中公布了：1.一种极紫外掩模检测系统的标定方法，其特征在于，包括： 在所述极紫外掩模检测系统对各组目标图案进行掩模检测后，确定各组所述目标图案的掩模检测图像，所述目标图案为在标准样品中基于空间频率选择的标准图案，所述标准样品包括多组所述标准图案，每组所述标准图案包括至少两个肘型图案，所述肘型图案之间的方向不同； 获取各组所述目标图案的理想图像，在所述理想图像中的所述目标图案的位置与在所述掩模检测图像中的所述目标图案的位置匹配，所述理想图像是根据所述标准图案的真实图案构建的，所述真实图案为根据加工精度确定的设计的标准图案或掩模检测获得的图像； 针对各组所述目标图案，通过反卷积计算从所述掩模检测图像到所述理想图像的点扩散函数； 根据各组所述目标图案的所述点扩散函数，确定所述极紫外掩模检测系统的目标点扩散函数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳综合粒子设施研究院，其通讯地址为：518000 广东省深圳市光明区新湖街道圳园路268号3号楼3-6层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号