乐金显示光电科技(中国)有限公司李育光获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116970917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310939609.4,技术领域涉及:C23C14/54;该发明授权一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质是由李育光设计研发完成,并于2023-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质,包括:当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源;若是,控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源;若否,依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。当存在蒸镀异常时,先考虑蒸发源的工艺参数是否异常,在工艺参数正常的情况下,再通过单个蒸发源停机的方式来筛出存在蒸镀异常的蒸发源。整个蒸镀异常检测过程自动化,可以及时检测到蒸镀异常情况以及检出存在蒸镀异常的蒸发源,避免因滞后检测带来的成本浪费,也提高了面板生产的良品率。
本发明授权一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀异常检测方法,其特征在于,应用于蒸镀系统,所述蒸镀系统包括蒸镀设备和检测设备,所述蒸镀设备包括多个蒸发源,所述检测设备上设置有电流检测器,所述蒸镀异常检测方法,包括: 在所述检测设备接收到经所述蒸镀设备蒸镀加工的面板时,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,具体为:根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常; 当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源; 若是,控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源; 若否,依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。
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