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龙图腾网获悉上海禾芯威半导体科技有限公司申请的专利一种pod晶舟传送开盒装置及其晶圆扫描运算方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116682767B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310554515.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种pod晶舟传送开盒装置及其晶圆扫描运算方法是由季滔;顾俊;申勇设计研发完成，并于2023-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种pod晶舟传送开盒装置及其晶圆扫描运算方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种pod晶舟传送开盒装置，包括第一支撑组件、驱动组件、从动支撑组件、第二支撑组件、限位组件、感压组件、扫描识别组件以及固定组件，第一支撑组件对驱动组件和第二支撑组件进行支撑，驱动组件对从动支撑组件进行驱动；第二支撑组件包括外支撑件和内支撑件，外支撑件对内支撑件进行支撑，外支撑件可对关盒状态下的从动支撑组件进行支撑。本发明的有益效果为通过驱动组件可以带动从动支撑组件上的晶舟传送盒进行上下运动，带动晶舟传送盒打开或者关闭，在打开或者上升过程中，可以对晶舟架上的晶圆进行各种数据分析，打开晶舟传送盒后，机器手臂可以夹取晶舟架上的晶圆。

本发明授权一种pod晶舟传送开盒装置及其晶圆扫描运算方法在权利要求书中公布了：1.一种pod晶舟传送开盒装置，其特征在于：包括第一支撑组件、驱动组件、从动支撑组件、第二支撑组件、限位组件、感压组件、扫描识别组件以及固定组件； 所述第一支撑组件对所述驱动组件和所述第二支撑组件进行支撑，所述驱动组件对从动支撑组件进行驱动； 所述第二支撑组件包括外支撑件和内支撑件，所述外支撑件对内支撑件进行支撑，所述外支撑件可对关盒状态下的从动支撑组件进行支撑； 所述内支撑件上设置有限位组件，所述从动支撑组件上设置有扫描识别组件，所述从动支撑组件上设置有固定组件，所述固定组件对从动支撑组件进行固定； 所述驱动组件包括电机、联轴器、连接杆； 所述电机竖向固定在第一支撑组件侧面，所述电机和连接杆之间通过联轴器连接，所述联轴器设置在电机上侧的输出端； 所述从动支撑组件包括滑板、升降架、升降架板、晶舟传送盒、滑块； 所述滑板一侧与滑块固定连接，所述滑板另一侧与连接杆固定连接，所述滑块与所述第一支撑组件竖向滑动连接，所述升降架与所述滑板连接，所述升降架的上端面固定连接有升降架板，所述升降架板的上端面设置有晶舟传送盒； 所述外支撑件包括外支撑架、支撑底板； 所述外支撑架与所述第一支撑组件固定连接，所述外支撑架上设置有支撑底板，所述外支撑架与所述支撑底板为固定连接； 所述内支撑件包括内支撑架、晶舟支撑板、晶舟架； 所述内支撑架设置在支撑底板的上端面，所述内支撑架的上端面连接有晶舟支撑板，所述晶舟支撑板的上方设置有晶舟架； 还包括设置在所述升降架板上端面的导向组件； 所述导向组件包括导向块、导向斜坡； 所述导向块与所述升降架板的上端面固定连接，所述导向块的上端面设置有导向斜坡，能够使晶舟传送盒快速正确放置到指定位置； 所述导向块设置为四组，所述导向块设置在所述晶舟传送盒四边棱角交汇处。

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