上海芯之翼半导体材料有限公司孙虎获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯之翼半导体材料有限公司申请的专利一种实现聚焦环自动对中的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118824827B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310424697.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种实现聚焦环自动对中的装置及方法是由孙虎;陶龙海设计研发完成，并于2023-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种实现聚焦环自动对中的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种实现聚焦环自动对中的装置及方法，装置包括：设于基座上的弹性校正环；基座的表面上设有静电吸盘，静电吸盘的外侧用于安装聚焦环；校正环卡接于静电吸盘的侧面上，且校正环的外侧面与静电吸盘的侧面之间呈等距状态；校正环的内径小于静电吸盘的外径，校正环的外径大于聚焦环的内径；通过将聚焦环套设于校正环的外侧面上，使聚焦环在校正环的弹性力作用下，产生相对于静电吸盘的横向自动对中运动，实现聚焦环的自动对中。本发明能在晶圆上获得分布均匀的等离子体，并能防止刻蚀工艺副产物进入到基座内部，保持了基座内部的清洁，从而能提高干法刻蚀的均匀度，具有技术简单，效果明显的优点。
本发明授权一种实现聚焦环自动对中的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种实现聚焦环自动对中的装置，其特征在于，包括： 设于基座上的弹性校正环； 所述基座的表面上设有静电吸盘，所述静电吸盘的外侧用于安装聚焦环； 所述校正环卡接于所述静电吸盘的侧面上，且所述校正环的外侧面与所述静电吸盘的侧面之间呈等距状态；所述校正环的内径小于所述静电吸盘的外径，所述校正环的外径大于所述聚焦环的内径； 其中，通过将所述聚焦环套设于所述校正环的外侧面上，使所述聚焦环在所述校正环的弹性力作用下，产生相对于所述静电吸盘的横向自动对中运动，实现所述聚焦环的自动对中。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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