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西安交通大学费钰茜获国家专利权

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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种用于水合肼检测的电阻式气体传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116519751B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310390735.9,技术领域涉及:G01N27/12;该发明授权一种用于水合肼检测的电阻式气体传感器及其制备方法是由费钰茜;江新兵;于伟;王久洪;丁书江设计研发完成,并于2023-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于水合肼检测的电阻式气体传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种用于水合肼检测的电阻式气体传感器及其制备方法,包括单晶硅衬底,单晶硅衬底的两面设有二氧化硅层,一侧的二氧化硅层上设有金叉指电极,二氧化硅层及金叉指电极表面设有气体敏感材料薄膜,气体敏感材料薄膜由金属氧化物导电聚合物二元复合材料构成;单晶硅衬底、二氧化硅层以及金叉指电极共同构成传感器芯片;气体敏感材料薄膜接触待测气体即水合肼前后电阻会发生变化,通过测量金叉指电极间电阻的变化获得传感器响应值的相关性能;本发明具有简便、响应高、稳定性好的优点。

本发明授权一种用于水合肼检测的电阻式气体传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种用于水合肼检测的电阻式气体传感器,包括单晶硅衬底(1),其特征在于:单晶硅衬底(1)的两面设有二氧化硅层(2),一侧的二氧化硅层(2)上设有金叉指电极(3),二氧化硅层(2)及金叉指电极(3)表面设有气体敏感材料薄膜(4),单晶硅衬底(1)、二氧化硅层(2)以及金叉指电极(3)共同构成传感器芯片;气体敏感材料薄膜(4)接触待测气体即水合肼前后电阻会发生变化,通过测量金叉指电极间电阻的变化获得传感器响应值的相关性能; 所述的气体敏感材料薄膜(4)由金属氧化物导电聚合物二元复合材料构成,具体为二氧化钛聚3-己基噻吩-2,5-二基复合气敏材料薄膜,采用滴涂法制备。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安交通大学,其通讯地址为:710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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