中国科学院合肥物质科学研究院丁睿哲获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种晶圆缺陷检测装置的承片系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310176388.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆缺陷检测装置的承片系统是由丁睿哲;熊伟;周佐达;瞿顶军;李志伟;金伟;罗海燕设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷检测装置的承片系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆缺陷检测装置的承片系统，其中：真空吸附气路分别经对应的气管接至承载台与调整台；承载台包括同轴组装的Z轴升降台、转台和固定吸附台；固定吸附台依靠真空吸附气路提供吸附力吸附固定待检测的晶圆，能够随转台绕中轴线同步回转，并可由Z轴升降台驱动与转台同步升降；调整台包括调整吸附台和XYZ三轴平台；调整吸附台能够依靠真空吸附气路提供吸附力相适配地吸附在被固定的晶圆外缘底部；XYZ三轴平台通过驱动调整吸附台运动带动晶圆位移。本发明集成真空吸附、高速旋转、Z向辅助调焦、晶圆自动对准等多种关键功能，能够满足晶圆缺陷检测过程中绝大部分承片需求。
本发明授权一种晶圆缺陷检测装置的承片系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测装置的承片系统，其特征是： 用于晶圆的缺陷检测，包括真空吸附气路、承载台和调整台； 所述真空吸附气路包括依次相接的压缩空气气源、真空气路三联件、真空发生单元、二位三通电磁阀，所述二位三通电磁阀的进口接真空发生单元，两路出口分别经对应的气管接至承载台与调整台； 所述承载台包括自下至上同轴组装的Z轴升降台、转台和固定吸附台；所述固定吸附台依靠所述真空吸附气路提供吸附力，通过真空吸附固定待检测的晶圆，能够随转台绕中轴线同步回转，并能够由Z轴升降台驱动，与所述转台同步升降； 所述调整台包括调整吸附台和XYZ三轴平台；所述调整吸附台的环形调整圈与固定吸附台同轴布置，并能够依靠所述真空吸附气路提供吸附力，相适配地吸附在被固定的晶圆外缘底部；所述XYZ三轴平台用于通过驱动所述调整吸附台运动，带动晶圆位移。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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