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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利非接触式晶圆翻转装置及翻转方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831858B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310004369.9，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权非接触式晶圆翻转装置及翻转方法是由文黎波;王秀海;刘柄义;赵英伟;吴爱华;秦天;郝晓亮;马培圣;曹健;张文雅设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本非接触式晶圆翻转装置及翻转方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于旋转手指气缸的两个手指上；晶圆夹持机械手对称连接于晶圆夹持支撑件上，以夹持待翻面的晶圆；两晶圆夹持机械手相对的内侧分别具有夹持晶圆边缘的弧形槽。本发明晶圆夹持机械手不接触晶圆的表面，仅仅抵靠晶圆的外侧面，不会对晶圆的正面和背面造成污染、划痕等不洁净的问题；晶圆沿斜面滑动落入晶圆夹持机械手的夹持部位，可避免了晶圆倾斜晃动等问题造成的不确定性。

本发明授权非接触式晶圆翻转装置及翻转方法在权利要求书中公布了：1.一种非接触式晶圆翻转方法，其特征在于，基于非接触式晶圆翻转装置，所述装置包括： 旋转手指气缸1带动晶圆夹持机械手6反向旋转至初始位置，进行下一晶圆的翻转； 旋转手指气缸1，具有至少180°旋转的自由度及手指3相对移动的自由度； 两组晶圆夹持支撑件4，对称固定于所述旋转手指气缸1的两个手指3上；以及 晶圆夹持机械手6，对称连接于所述晶圆夹持支撑件4上，以夹持待翻面的晶圆；两所述晶圆夹持机械手6相对的内侧分别具有夹持所述晶圆边缘的弧形槽； 所述弧形槽的内壁且沿槽宽度方向具有依次衔接的第一支撑斜面601、竖向夹持面602、第二导向斜面603及第三支撑斜面604；其中，所述第一支撑斜面601的倾斜方向与所述第二导向斜面603和所述第三支撑斜面604的倾斜方向相反；所述第二导向斜面603的倾斜角度大于所述第三支撑斜面604的倾斜角度；所述竖向夹持面602的宽度大于或等于所述晶圆的厚度； 所述方法包括： 旋转手指气缸1带动晶圆夹持机械手6反向移动张开，至两侧的竖向夹持面602间的距离大于晶圆的直径； 取片机械手携带晶圆水平伸入两个竖向夹持面602之间； 取片机械手向下移动，直至晶圆支撑于第一支撑斜面601上； 旋转手指气缸1带动两侧的晶圆夹持机械手6相向移动，晶圆沿第一支撑斜面601向竖向夹持面602移动，直至晶圆夹持在两竖向夹持面602之间； 旋转手指气缸1带动晶圆夹持机械手6翻转180°，至晶圆的背面水平朝上； 旋转手指气缸1带动晶圆夹持机械手6再次反向移动，晶圆沿第二导向斜面603向下滑动，直至到达第三支撑斜面604上； 取片机械手水平伸入将晶圆向上移动，直至晶圆到达两竖向夹持面602之间，将晶圆移出。

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