南京亨瑞光电科技有限公司叶华获国家专利权
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龙图腾网获悉南京亨瑞光电科技有限公司申请的专利多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115805537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211578266.5，技术领域涉及：B24D15/00；该发明授权多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法是由叶华设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备制备辅助设施技术领域，尤其为多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法，所述小抛光垫的表面固定连接有立柱，所述立柱的表面套接有弹簧，所述立柱插接在对接口的内部，所述对接口开设在持装盒的表面，所述持装盒的表面开设有定位孔。本发明通过立柱推动小抛光垫进行位移，滑杆带动转动座牵引限位夹具对立柱的位置机械能夹持固定，再通过定位杆插接在定位孔的内部对滑杆的位置进行固定，从而达到了灵活控制整体装置，加强了整体装置的实用性能，改善了现有的抛光垫在对半导体工件进行打磨时抛光垫的大小无法根据需要进行调节，需要准备多个不同尺寸的抛光垫以备用的效果。
本发明授权多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法在权利要求书中公布了：1.多孔聚氨酯抛光垫，包括大抛光垫1，其特征在于：所述大抛光垫1的内部活动连接有小抛光垫2，所述小抛光垫2的表面固定连接有立柱3，所述立柱3的表面套接有弹簧4，所述立柱3插接在对接口5的内部，所述对接口5开设在持装盒6的表面，所述持装盒6的表面开设有定位孔7，所述持装盒6的表面开设有滑槽8，所述滑槽8的内部插接有滑杆9，所述滑杆9的表面开设有插孔10，所述插孔10的内部插接有定位杆11，所述滑杆9的末端固定连接有转动座12，所述转动座12转动连接在底盘13的表面，所述底盘13的表面固定连接有限位座14，所述限位座14的内部固定连接有轴承16，所述轴承16的表面固定连接有限位夹具15。
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