中国科学院重庆绿色智能技术研究院魏大鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院重庆绿色智能技术研究院申请的专利基于二维量子隧穿力敏机制的柔性压力传感器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115655528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211276639.3,技术领域涉及:G01L1/00;该发明授权基于二维量子隧穿力敏机制的柔性压力传感器及制备方法是由魏大鹏;程观银设计研发完成,并于2022-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于二维量子隧穿力敏机制的柔性压力传感器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于二维量子隧穿力敏机制的柔性压力传感器,由顶部电极、中间介电层、底部电极和柔性衬底层组成;所述顶部电极为共形碳纳米薄膜,所述中间介电层为六方氮化硼(HBN),所述底部电极为单层石墨烯;所述共形碳纳米薄膜由具有微结构的石墨烯纳米墙和柔性基底组成。其工作机制为压力作用下由微结构形变引起的二维层间量子隧穿电流变化。本发明所制备的柔性压力传感器在微压阶段(100Pa)的检测能力具有超高灵敏响应、低检测极限和快响应时间的特点。
本发明授权基于二维量子隧穿力敏机制的柔性压力传感器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于二维量子隧穿力敏机制的柔性压力传感器,其特征在于:由顶部电极、中间介电层、底部电极和柔性衬底层组成;所述顶部电极为共形碳纳米薄膜,所述中间介电层为HBN,所述底部电极为单层石墨烯;所述共形碳纳米薄膜由具有微结构的石墨烯纳米墙和柔性基底组成;所述微结构为微金字塔、微半球、微棱柱和微条带中的一种;所述微结构在压力下产生形变。
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