成都联江科技有限公司廖伟获国家专利权
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龙图腾网获悉成都联江科技有限公司申请的专利紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114995067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210639268.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构是由廖伟;朱红伟;邱盛平设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构在说明书摘要公布了：本发明公开一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，包括观察镜筒、旋转件、伸缩筒及传动结构，所述观察镜筒形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体，所述旋转件沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部，所述伸缩筒沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装，所述传动结构传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动。实现了对所述伸缩筒的微调，从而使得安装至所述伸缩筒上的观察相机模组能获得较佳的像面位置，最终显示较为清晰的观察画面。
本发明授权紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构在权利要求书中公布了：1.一种紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构，其特征在于，包括： 观察镜筒，形成有沿第一方向贯通设置的第一腔体； 旋转件，沿第二方向所处轴线转动设置于所述观察镜筒，且所述旋转件具有沿径向呈延展设置的旋转驱动部； 伸缩筒，沿第一方向延伸且活动设置于所述第一腔体，且所述伸缩筒用以供观察相机模组安装；以及， 传动结构，传动连接所述旋转驱动部至所述伸缩筒，以将所述旋转件的转动转换成所述伸缩筒的直线运动； 所述紫外单倍率投影曝光光刻镜头结构还包括： 光刻镜筒，形成有沿第三方向贯通设置的第二腔体，所述观察镜筒设于所述光刻镜筒的侧壁，且所述第一腔体与所述第二腔体相互导通；以及， 分光棱镜，设于所述第二腔体，且所述分光棱镜与所述第一腔体呈相对设置。
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