买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利OPC模型数据权重设置方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114925635B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210572098.2，技术领域涉及：G06F30/30；该发明授权OPC模型数据权重设置方法是由汪牡丹;蔡伟;于世瑞设计研发完成，并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本OPC模型数据权重设置方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种OPC模型数据权重设置方法，包括：步骤一、对版图上的图形进行分类并设置各类所述图形的参考权重；步骤二、设置OPC模型中各数据点的权重，包括：计算第一系数，第一系数为和数据点的图形线宽尺寸相关的系数；计算第二系数，第二系数为和数据点的图形的测量尺寸可靠度相关的系数；计算数据点的权重，数据点的权重为数据点的图形所属的图形类别的参考权重、第一系数和第二系数的乘积。本发明能有效地降低模型误差和均方根数值，提高OPC模型精度。

本发明授权OPC模型数据权重设置方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC模型数据权重设置方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一、对版图上的图形进行分类并设置各类所述图形的参考权重； 所述图形的类别包括锚点，所述锚点的线宽尺寸为第一线宽尺寸； 步骤二、设置OPC模型中各数据点的权重，包括： 计算第一系数，所述第一系数为和所述数据点的图形线宽尺寸相关的系数； 所述数据点的图形线宽尺寸和所述第一线宽尺寸的差值越小，所述第一系数越大； 计算所述第一系数的公式为： 其中，Kcd表示所述第一系数，CDα表示所述第一线宽尺寸，CDi表示所述数据点的图形线宽尺寸，i表示所述数据点在所述OPC模型的数据集中的编号；计算第二系数，所述第二系数为和所述数据点的图形的测量尺寸可靠度相关的系数； 所述数据点的图形的测量尺寸可靠度相关的表征值为3*sigma，所述数据点的图形的测量尺寸是通过对转移到晶圆上的光刻胶图形进行测量得到，所述数据点的图形转移到所述晶圆上的所述光刻胶图形包括多个，sigma表示对多个所述光刻胶图形进行测量得到的所述数据点的图形的测量尺寸的标准差； 计算所述第二系数的公式为： 其中，Kq表示所述第二系数； 计算所述数据点的权重，所述数据点的权重为所述数据点的图形所属的图形类别的所述参考权重、所述数据点的第一系数和所述数据点的第二系数的乘积。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。