苏州汉天下电子有限公司赖志国获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114826184B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210544398.X，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器是由赖志国;杨清华设计研发完成，并于2022-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器在说明书摘要公布了：本发明提供了一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器。该体声波谐振器的制备方法包括：提供衬底；在衬底之上形成底电极和压电层；在压电层背离底电极的表面的边缘形成牺牲层，其中，牺牲层包括空气桥结构牺牲层以及悬翼结构牺牲层中的至少一种；通过表面处理工艺在牺牲层背离压电层的至少部分表面形成凹凸不平的表面，以形成第一粗糙表面；在牺牲层背离压电层的表面形成顶电极；释放牺牲层。本发明实施例提供的技术方案，通过在空气桥结构或者悬翼结构设置粗糙散射表面，有效消耗进入空气桥结构或者悬翼结构的横波和杂波，从而提升了体声波谐振器的Q值。
本发明授权一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括： 提供衬底； 在所述衬底之上形成底电极； 在所述底电极背离所述衬底的一侧形成压电层； 在所述压电层背离所述底电极的表面的边缘形成牺牲层，其中，所述牺牲层包括空气桥结构牺牲层以及悬翼结构牺牲层中的至少一种； 通过表面处理工艺在所述牺牲层背离所述压电层的至少部分表面形成凹凸不平的表面，以形成第一粗糙表面； 在所述牺牲层背离所述压电层的表面形成顶电极； 释放所述牺牲层，以在所述顶电极的边缘形成空气桥结构以及悬翼结构中的至少一种，其中，所述空气桥结构的空气隙为所述空气桥结构牺牲层的所在位置，所述悬翼结构的空气隙为所述悬翼结构牺牲层的所在位置； 在所述牺牲层背离所述压电层的至少部分表面形成顶电极之后还包括： 在所述顶电极背离所述压电层的表面的边缘形成凹入结构以及凸起结构中的至少一种； 通过表面处理工艺在所述凹入结构以及凸起结构中的至少一种的至少部分表面形成凹凸不平的表面，以形成第三粗糙表面。
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