中国电子科技集团公司第十三研究所赵琳获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利一种高深宽比沟槽标准样板的定值方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115078021B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210495016.9，技术领域涉及：G01N1/28；该发明授权一种高深宽比沟槽标准样板的定值方法是由赵琳;李锁印;梁法国;邹学锋;冯亚南;韩志国;张晓东;许晓青;吴爱华设计研发完成，并于2022-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高深宽比沟槽标准样板的定值方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种高深宽比沟槽标准样板的定值方法。该方法包括：将已完成高深宽比沟槽制备的晶圆划分为多个标准网格；将各标准网格划分为n×n个标准样板；对各标准网格的中心样板进行切割，并垂直于沟槽方向进行横向切片，测量各切片的沟槽尺寸；若中心样板各切片的沟槽尺寸均匀性低于预设值，则认定该中心样板所在标准网格所划分的各标准样板合格，对该标准网格的非中心样板进行沟槽尺寸测量，并根据测量结果获得该标准网格的各标准样板的定值。本发明能够通过测量各标准网格中心样板的均匀性，只对晶圆中均匀性好的部分进行切片定值，提高了标准样板定值的可靠性，避免对均匀性差的部分进行切片测量，提高了标准样板定值的工作效率。
本发明授权一种高深宽比沟槽标准样板的定值方法在权利要求书中公布了：1.一种高深宽比沟槽标准样板的定值方法，其特征在于，包括： 将已完成高深宽比沟槽制备的晶圆划分为多个标准网格； 将各标准网格划分为n×n个标准样板，其中，n为大于2的奇数，n×n个标准样板中位于正中心的样板为中心样板； 对各标准网格的中心样板进行切割，并垂直于沟槽方向进行横向切片，并测量各切片的沟槽尺寸； 计算中心样板的各切片沟槽尺寸的均匀性； 若中心样板各切片的沟槽尺寸均匀性低于预设值，则认定该中心样板所在标准网格所划分的各标准样板合格，对该标准网格的非中心样板进行沟槽尺寸测量，并根据测量结果获得该标准网格的各标准样板的定值，其中，所述定值包括沟槽宽度和沟槽深度。
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