东京毅力科创株式会社佐佐木芳彦获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利紧固结构和紧固方法以及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114512389B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111304593.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权紧固结构和紧固方法以及等离子体处理装置是由佐佐木芳彦;南雅人;佐佐木和男设计研发完成，并于2021-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本紧固结构和紧固方法以及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种在将配设在生成等离子体的处理容器的内部的金属部件与覆盖部件经由紧固螺钉紧固的构造中，能够抑制堆积物向紧固螺钉的头部的附着的紧固结构和紧固方法以及等离子体处理装置。紧固结构包括：多个金属部件，其配设在处理容器的内部，具有露出于在处理容器的内部生成的等离子体中的露出面和螺纹孔；覆盖部件，其以跨多个金属部件的露出面的方式配设，具有绝缘性，并且具有贯通孔；金属制的紧固螺钉，其具有螺钉头部，通过将贯通孔贯通并与螺纹孔螺合而将覆盖部件紧固于金属部件；和覆盖螺钉头部的螺钉覆盖件，螺钉覆盖件包括：与螺钉头部接触的金属制的第一基部；和覆盖第一基部的表面的至少一部分的由陶瓷喷涂膜构成的第一保护膜。
本发明授权紧固结构和紧固方法以及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种紧固结构，其特征在于，包括： 多个金属部件，其配设在处理容器的内部，具有露出于在所述处理容器的内部生成的等离子体中的露出面和螺纹孔； 覆盖部件，其以跨多个所述金属部件的所述露出面的方式配设，具有绝缘性，并且具有贯通孔； 金属制的紧固螺钉，其具有螺钉头部，通过贯通所述贯通孔并与所述螺纹孔螺合而将所述覆盖部件紧固于所述金属部件；和 覆盖所述螺钉头部且具有凹部的螺钉覆盖件， 所述螺钉覆盖件包括：与所述螺钉头部接触的金属制的第一基部；和覆盖所述第一基部的表面的至少一部分的由陶瓷喷涂膜构成的第一保护膜， 在所述螺钉头部的侧部形成有第一螺纹槽， 在所述螺钉覆盖件的所述凹部的壁面形成有第二螺纹槽， 通过所述第一螺纹槽与所述第二螺纹槽螺合，且所述紧固螺钉与所述金属部件紧固在一起，而使所述第一基部与所述金属部件电导通。
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