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龙图腾网获悉总督科技股份有限公司申请的专利预治式晶圆载盘的置载装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621174B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110802138.3，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权预治式晶圆载盘的置载装置及其方法是由宋茂炎设计研发完成，并于2021-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本预治式晶圆载盘的置载装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种预治式晶圆载盘的置载装置及其方法，是在一第一位移机构周侧设有晶圆环置载机构、晶圆置载机构、遮盖置载机构及机械臂；第一位移机构具有一第一座体，于一载盘上设有复数组合件承载部，各组合件承载部周缘设有复数夹具，机械臂的活动端设有影像攫取组件及装卸机构；晶圆环置载机构将一晶圆环置于第一座体上，晶圆置载机构将一晶圆置于晶圆环内，遮盖置载机构将一遮盖叠置于晶圆上形成一组合件，机械臂校正装卸机构，以正确对应于载盘上一待组装的组合件承载部，装卸机构解锁各夹具，将组合件由第一座体移置于待组装的组合件承载部上，然后锁掣各夹具，以将组合件固定于该载盘上。

本发明授权预治式晶圆载盘的置载装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种预治式晶圆载盘的置载装置，其特征在于，包括： 一第一位移机构，连接并受一控制模块驱动，该第一位移机构具有一能往复移动的第一座体，于该第一座体上设有一晶圆预治部； 一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆环置载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆环置载机构具有一承托晶圆环的晶圆环供料座，于该晶圆环供料座旁侧设有一晶圆环移置组件，该晶圆环移置组件能携取及释放该晶圆环，且该晶圆环移置组件能携带该晶圆环于该晶圆环供料座与该第一座体的晶圆预治部之间进行活动； 一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆置载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆置载机构具有一承托晶圆的晶圆供料座，于该晶圆供料座旁侧设有一晶圆移置组件，该晶圆移置组件具有一晶圆托架，且该晶圆托架能受该晶圆移置组件带动而能携带该晶圆于该晶圆供料座与该第一座体的晶圆预治部之间进行活动； 一设置于该第一位移机构旁侧的遮盖置载机构，连接并受驱动于该控制模块，该遮盖置载机构具有一承托遮盖的遮盖供料座，于该遮盖供料座旁侧设有一遮盖移置组件，该遮盖移置组件能携取及释放该遮盖，且于该遮盖供料座与该第一座体的晶圆预治部之间进行活动； 一载盘，表面上设有至少一组合件承载部，于各组合件承载部周侧分别设有复数夹具； 一机械臂，连接并受驱动于该控制模块，该机械臂具有一能移动于该第一座体与该载盘之间的活动端，于该活动端上至少设有一装卸机构。

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